第十三章电子显微镜.ppt

第二篇 材料电子显微分析;扫描电子显微镜的成像原理与透射电镜完全不同， 不是利用电磁透镜聚焦成像， 而是利用细聚焦电子束在样品表面扫描，用探测器接收被激发的各种物理信号调制成像 目前，扫描电子显微镜二次电子像的分辨率已优于 3nm，高性能的场发射枪扫描电子显微镜的分辨率已达到 1nm 左右，相应的放大倍数可高达30万倍 与光学显微镜相比， 扫描电子显微镜不仅图像分辨率高，而且景深大，因此在断口分析方面显示出十分明显的优势 扫描电子显微镜开始发展于20世纪 60年代，随其性能不断提高和功能逐渐完善， 目前在一台扫描电镜上可同时实现组织形貌、微区成分和晶体结构的同位分析， 现已成为材料科学等研究领域不可缺少的分析工具;第十三章 扫描电子显微镜;第一节 电子束与样品相互作用产生的信号;一、背散射电子 被样品原子散射，散射角大于90?而散射到样品表面以外 的一部分入射电子称为背散射电子， 包括弹性背散射电子和 非弹性散射背散射电子 产生于样品表层几百纳米的深度范围 能量范围较宽，从几十到几万电子伏特 产额随样品平均原子序数增大而增大， 所以背散射电子像的 衬度可反映对应样品位置的平均原子序数 背散射电子像主要用于定性分析材料的成分分布和显示相的 形状和分布;二、吸收电子 入射电子进入样品后，经多次非弹性散射使其能量消耗 殆尽，最后被样品吸收，这部分入射电子称吸收电子 产生于样品表层约1微米的深度范围 产额随样品平均原子序数增大而减小。因为，在入射电子束 强度一定的情况下，对应背散射电子产额大的区域吸收电子 就少，所以吸收电子像也可提供原子序数衬度 吸收电子像主要也用于定性分析材料的成分分布和显示相的 形状和分布;三、透射电子 若入射电子能量很高，且样品很薄，则会有一部分电子 穿过样品，这部分入射电子称透射电子 透射电子中除了能量和入射电子相当的弹性散射电子外，还 有不同能量损失的非弹性散射电子，其中有些电子的能量损 失具有特征值，称为特征能量损失电子 特征能量损失电子的能量与样品中元素的原子序数有对应??? 系，其强度随对应元素的含量增大而增大 利用电子能量损失谱仪接收特征能量损失电子信号，可进行 微区成分的定性和定量分析;四、二次电子 在入射电子作用下，使样品原子的外层价电子或自由电 子被击出样品表面，称为二次电子 产生于样品表层5~10nm的深度范围 能量较低，一般不超过 50eV，大多数均小于10eV 其产额对样品表面形貌非常敏感，因此二次电子像可提供表 面形貌衬度 二次电子像主要用于断口分析、显微组织分析和原始表面形 貌观察等;电子信号强度的关系 如果使样品接地， 上述四种电子信号强度与入射电子强 度(i0)之间应满足 ib+ is+ ia+ it = i0 (13-1) 式中， ib、 is、 ia 和 it 分别为 背散射电子、二次电子、吸收 电子和透射电子信号强度。上 式两端除以 i0 得 ? + ? + ? +? =1 (13-2) 式中， ?、?、? 和? 分别为背 散射、发射、吸收和透射系数 上述四个系数与 样品质量厚度 的关系如图13-2所示;五、特征X射线 如前(第一章)所述， 当入射电子能量足以使样品原子的 内层电子击出时，原子处于能量较高的激发态，外层电子将 向内层跃迁填补内层空位，发射特征X射线释放多余的能量 产生于