2020扫描探针显微镜.ppt

清华大学化学系 表面与材料实验室 31 STM 的关键部件 清华大学化学系 表面与材料实验室 32 样品的制备 ? 导电样品：表面光滑，清洁 ? 关于生物材料的样品制备 人们发现即使这些材料本质上是非导体，但是当它们被 置于一个导电培养基上的薄膜时，微弱的隧道电流出现了。 在培养基上得到图片的原理还不甚清楚，但是有人认为培 养基和上面的分子形成了一种混合状态，该状态是活泼的 能量态和可以映射被吸附物的分子几何图象的电子分布状 态的合成。 在 STM 的实验中，用于培养基的最普通的材料是石墨，其 他的层状物质如 Mos2 ， WS2 ， mica 等也可轻易地制备用 来进行 STM 研究。 清华大学化学系 表面与材料实验室 33 STM 图像的解释 ? STM 图像反映的是样品表 面局域电子结构和隧穿势 垒的空间变化，与表面原 子核的位置没有直接关系， 并不能将观察到的表面高 低起伏简单地归纳为原子 的排布结构； ? 针尖电子态的影响 STM 图像是针尖电子态与 样品表面局域电子态的卷 积； 清华大学化学系 表面与材料实验室 34 STM 的应用 微电子学研究 ? 微电子器件的制造过程中 能在不接触表面的情况下绘制出电子元件 表面图象，不论这些元件的组成成份如何， 这对监督和改进亚微米集成电路的工艺具 有突出的作用。 ? 具有不损伤器件的特点以及高的空间分辨 率 清华大学化学系 表面与材料实验室 35 STM 应用 ? 基于扫描探针显微镜的纳米加工技术，包括了一种纳米刻蚀技术 （ Nanolithgraphy ）。 ? 这种技术可以实现在纳米尺度上制备产品。目前刻蚀图形的线宽约为 10nm 。 ? 日本 NEC 公司已研制出超高密度记录技术，其记录密度为目前磁盘的 3000 倍。 ? 若将 STM 刻蚀技术与分子束外延薄膜生产技术相结合，即可用于制造 三维尺寸均的纳米级的量子器件。 ? 例如利用砷镓和砷铝镓多层分子束外延薄膜材料加上纳米刻蚀，即可 构成电或光的量子器件。这将对微电子、激光技术和光电技术带来革 命性的影响。 清华大学化学系 表面与材料实验室 36 STM 应用 ? 原子操纵 ? 扫描探针显微镜所提供的单个原子、分子的操纵手段还可 能导致原子级的计算机开关器件的诞生。 ? 相当方便面地移走材料表面的某一种原子和搬来另一种原 子，从而形成一种新材料。这一切在数分种内就可以完成。 ? 这种显微镜最激动人心的用途就是用于制造 原子尺寸 的 计算机和毫微芯片。 清华大学化学系 表面与材料实验室 37 STM 应用 ? 扫描探针显微镜在光盘、磁盘的表面结构分析中 也获得了广泛的应用。 ? 此外，扫描探针显微镜还可以用于修整材料缺陷， 改变材料特性，或是修整电子器件，从而使材料 和电子器件的特性达到最佳化。 ? 美国能源部实验室的科学家卡兹墨斯基借助于原 子加工显微镜在材料表面掺杂后， N 型材变成了 P 型材料 清华大学化学系 表面与材料实验室 38 特点和应用 ? 与其它表面分析技术相比， STM 有许多优点。 ? 它由于原子级分辨率，平行和垂直于表面方向的分辨率分 别高达 0.1nm 和 0.01nm ，即可分辨出单个原子。 ? 它可以得到单原子层表面的局部结构，可以直接观测 到局部的表面缺陷、表面重构、表面吸附的形态和位置， 以及由吸附体引起的表面重构等。 ? 在获得样品表面形貌的同时，也可得到扫描隧道谱，可用 于研究表面的电子结构等。 ? STM 可实时地得到在实空间中表面的三维图像，可用于研 究具有周期性或不具备周期性的表面结构，非常有利于对 表面反应、 扩散等动态过程的研究。 清华大学化学系 表面与材料实验室 39 STM 的优势 ? STM 具有极高的分辨率 ? 它可以轻易的“看到”原子，这是一般显微镜 甚至电子显微镜所难以达到的 ? ? STM 得到的是实时的 ? 真实的样品表面的高分辨率图象，而不同于某 些分析仪器是通过间接的或计算的方法来推算样品的表面结构 ? 也就是 说， STM 是真正看到了原子。 ? STM 的使用环境宽松 ? 电子显微镜等仪器对工作环境要求比较苛刻，样 品必须安放在高真空条件下才能进行测试 ? 而 STM 既可以在真空中工作， 又可以在大气中，低温，常温，高温，甚至在溶液中使用 ? 因此 STM 适 用于各种工作环境下的科学实验 ? ? STM 的应用领域是宽广的 ? 无论是物理 ? 化学 ? 生物 ? 医学等基础学科， 还是材料 ? 微电子等应用学科都有它的用武之地 ? ? STM 的价格相对于电子显微镜等大型仪器来讲是较低的 ? 这对于 STM 的 推广是有好处的 ? ? STM 的为现代科技在微观领域的突破提供了必要的工具，为纳米科技的 兴起创造了条件 ? 清华大学化学系