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第 3 章 检测系统的特性与技术指标 ? § ? § § 3.1 静态特性 静态模型、静态特性指标 3.2 动态特性 动态模型、动态特性 传感器典型环节动态特性分析 3.3 综合评价和标定 2 学时 1 ? § 3.1 检测系统的静态特性 静态特性：检测系统在被测量处于 稳定状态 时的 输入输出关系 ? § 3.1.1 静态模型 输入量 x 检测系统 y ? a ? bx 输出量 y y 理想状态： 线性关系 a --- 零点输出 b --- 理论灵敏度 实际状态： 非线性关系 y ? f ( x ) a O x 2 § 3.1 检测系统的静态特性 非线性原因： ( 结构原理性原因除外 ) 外界干扰 温 度 湿 度 压 力 冲 击 振 动 电 磁 场 场 输入 x 检 测 系 统 输入 y = f(x) 摩 擦 间 隙 松 动 迟 蠕 滞 变 变 老 形 化 误差因素 3 § 3.1 检测系统的静态特性 ? § 3.1.2 静态特性指标 ? 线性度 ? 回程误差 ? 分辨力 ? 重复性 ? 灵敏度 4 § 3.1 检测系统的静态特性 (1) 线性度 : 定义 : 检测系统输入输出曲线与理想直线的偏离程度 亦称非线性误差 表达 : 相对误差 ( non-linearity ) y ? L m ax e L ? ? ? 100 % y F . S . Δ ? L m ax 输出值与理想直线的最大偏差值 y F . S . 理论满量程输出值 x 理想直线： 一般不存在或很难获得准确结果 利用测量数据，通过计算获得 5 拟合直线 § 3.1 检测系统的静态特性 获取拟合直线方法： (a) 端点连线法： 算法 ： 检测系统输入输出曲线的两端点连线 特点 ： 简单、方便，偏差大，与测量值有关 (b) 最佳直线法： 算法 ： 使得正负行程的非线性偏差相等且最小 特点 ： 精度最高，计算法（迭代、逐次逼近） 简单实用，三点作图法（两高一低 / 两低一高） Δ (c) 最小二乘法 ： 算法 ： 计算：有 n 个测量数据 : ( x , y ), ( x , y ), … , ( x , y ) ， (n2) 1 1 2 2 n n 残差： ? i = y i – ( a + b x i ) 残差平方和最小： ?? 2 i =min b ? n ? x i y i ? ? x i ? y i n ? x ? ( ? x i ) 2 i 2 y Δ x y Δ x a ? 2 x ? i ? y i ? ? x i ? x i y i n ? x i 2 ? ( ? x i ) 2 特点 ：精度高 6 § 3.1 检测系统的静态特性 (2) 回程误差 定义 ： 检测系统在正行程和反行程的输入输出曲线不重合的程度 亦称空程误差、滞后 ( hysteresis ) ? H max ? 100 % 算法 ： 相对误差 e H ? y F . S . ? H max ：正反行程输出值的最大偏差 7 § 3.1 检测系统的静态特性 (3) 分辨力 : 定义 ： 能够检测出的被测量的最小变化量 表征测量系统的分辨能力 ( resolution ) 说明 ： 1 、分辨力 --- 是绝对数值，如 0.01mm ， 0.1g ， 10ms ， …… 2 、分辨率 --- 是相对数值： 能检测的最小被测量的变 换量相对于 满量程的百分 数，如： 0.1%, 0.02% 3 、阀值 --- 在系统输入零点附近的分辨力 8 § 3.1 检测系统的静态特性 (4) 重复性 ( repeatability ) 同一条件下，对同一被测量，同一方向，多次重复测量，差异程度 对同一被测量值：各次测量数值的偏差程度 测量数据的分散性 对不同被测数值：各次测量曲线的偏差程度 重复性是检测系统最基本的技术指标，是其他各项指标的前提和保证 重复性误差 ：随机误差 n 标准差 ? ： ? 大，则分散性大；反之亦然 计算 ：贝塞尔公式 ? ? ? ( y i ? y ) 2 i ? 1 y i --- 测量输出值， i=1,2,…,n y --- 输出值的平均值 n ? 1 9 § 3.1 检测系统的静态特性 (5) 灵敏度 ( sensitivity ) 定义 ： 测量系统在稳态下输出量的增量与输入量的增量之比 斜率： K ? ? y / ? x ( 灵敏度系数 ) 说明 ： a. 线性检测系统：灵敏度为常数； y ? a ? bx b. 非线性检测系统：灵敏度为变数 y ? f ( x ) ? S d K ? b df ( x ) K ? dx 例：间隙式平板电容传感器 C ? 灵敏度 ? C ? S K ? ? ? ? d d