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透射电子显微镜的原理及应用 一．前言 人的眼睛只能分辨 1/60 度视角的物体，相当于在明视距离下能分辨 0.1mm 。 的目标。光学显微镜通过透镜将视角扩大，提高了分辨极限，可达到2000A 。 光学显微镜做为材料研究和检验的常用工具，发挥了重大作用。但是随着材料科 学的发展，人们对于显微镜分析技术的要求不断提高，观察的对象也越来越细。 如要求分表几十埃或更小尺寸的分子或原子。一般光学显微镜，通过扩大视角可 提高的放大倍数不是无止境的。阿贝（Abbe ）证明了显微镜的分辨极限取决于 光源波长的大小。在一定波长条件下，超越了这个极限度，在继续放大将是徒劳 的，得到的像是模糊不清的。 图 1-1 （a ）表示了两个点光源O、P 经过会聚透镜 L ，在平面上形成像O 、 P 的光路。实际上当点光源透射会聚成像时，由于衍射效应的作用在像平面并 不能得到像点。图 1-1 （b ）所示，在像面上形成了一个中央亮斑及周围明暗相间 圆环所组成的埃利斑（Airy ）。图中表示了像平面上光强度的分布。约 84%的强 度集中在中央亮斑上。其余则由内向外顺次递减，分散在第一、第二……亮环上。 一般将第一暗环半径定义为埃利斑的半径。如果将两个光源 O、P 靠拢，相应的 两个埃利斑也逐渐重叠。当斑中心 O 、P 间距等于案例版半径时，刚好能分辨 出是两个斑，此时的光点距离d 称为分辨本领，可表示如下： 0.61 d  （1-1） n sin  式中  为光的波长 n 为折射系数  孔径半角。上式表明分辨的最小距离与 。 波长成正比。在光学显微镜的可见光的波长条件下，最大限度只能分辨 2000A 。 于是，人们用很长时间寻找波长短，又能聚焦成像的光波。后来的 X 射线和γ 射线波长较短，但是难以会聚聚焦。 1924 年德布罗（De Broglie）证明了快速粒子的辐射，并发现了一种高速运 。 动电子，其波长为 0.05A ，这比可见的绿光波长短十万倍！又过了两年布施 （Busch ）提出用轴对称的电场和磁场聚焦电子线。在这两个构想基础上 1931-1933 年鲁斯卡（Ruska ）等设计并制造了世界上第一台透射电子显微镜。经 图 1-1 透镜的分辨本领 过半个世纪的发展，透射电子显微镜（以下称透射电镜）已广泛应用在各个学科 领域和技术部门。现在对于材料科学和工程，它已经成为联系和沟通材料性能和 内在结构的一个最重要的“桥梁”。 透射电镜所以发展这么迅速，是因为他有许多特点：具有高的分辨率，可以 。 达到 1A ，能够在原子和分子尺寸直接观察材料的内部结构；能方便地研究材料 内部的相组成和分布以及晶体中的位错、层错、晶界和空位团等缺陷，是研究材 料微观组织结构最有力的工具；能同时进行材料晶体结构的电子衍射分析，并能 同时配置X 射线能谱、电子能损谱等测定微区成分仪器。目前，它已经是兼有 分析微相、观察图像、测定成分、鉴定结构四个功能结合、对照分析的仪器。 二．透射电子显微学发展史 § 世界上第一台电子显微镜始创于 1932 年，它由德国科学家 Ruska 研制，奠 定了利用电子束研究物质微观结构基础； § 1946 年 Boersch 在研究电子与原子的相互作用时提出，原子会对电子波进 行调制，改变电子的相位。他认为利用电子的相位变化，有可能观察到单个原子 分析固体中原子的排列方式。这一理论实际上成为现代实验高分辨电子显微分析 方法的理论依据； § 1947 年，德国科学家 Scherzer 提出，磁透镜的欠聚焦（即所谓的 Scherzer 最 佳聚焦，而非通常的高斯正焦）能够补偿因透镜缺陷（球差）引