浅谈真空装置.pdf

淺談真空裝置 主講 人:津弘科技實業有限公司 胡 餘 東 地 點 : 輔仁大學 時 間 九十六: 年 十 月 一日 真空設備 津弘科技公司 1 淺談真空裝置 內容 : 壹 . 公司介紹 貳 簡述真空. 參.真空系統 肆 配件簡介. 伍 .總結 淺談真空裝置 津弘科技公司 2 津 弘 科 技 實 業 有 限 公 司 ChinTech Technology CO., LTD. 津鏹技術服務團隊成立於 2001年，承蒙六位專業企業家， 十位教授，二十位博士，三十位碩士，四十位工程師，鼎 力支持。為臺灣儀器設備自製化的理想而努力。 營業項目 : 1.奈米粉末量產設備 2.DWDM 製程良率增加技術 3.OLED LIFE TIME延長技術 4.電漿設備 5.真空零件，真空幫浦，真空壓力計，電源供應器，離子 源，真空管件，殘餘氣體分析儀，濺鍍源，氦氣測漏儀， 質量流量控制噐 6.其他 公司介紹 津弘科技公司 3 真空系統概論 OBJECTIVES After studying the material in this chapter, you will be able to: 1.Explain why process chambers are used in semiconductor manufacturing. 2.Describe the benefits of a vacuum, the vacuum ranges, the appropriate pumps 3.List the different types of vacuum gauges and explain how the instrument functions 簡述真空 津弘科技公司 4 真空系統概論 氣體導論 ,氣體方程式 理想氣體 (Ideal Gas)--在不考慮分子間的作用力下 ,氣 體分子在一體積為 的容器內部的行為V ,將滿足氣體方 程式 PV=nRT P:容器內的壓力 23