新型柱状结构分支电极压电驱动器的数值分析.pdf

摘要 摘 要 在现代机械领域，大多数精密仪器中的驱动元件均有结构紧凑性的要求，因 此元件的微型化就成为了重点研究方向。在众多的驱动器类型中，压电陶瓷驱动 器因具有尺寸小、频响快、位移分辨率高、能耗低等突出的优势而备受关注。 本文介绍的柱状结构分支电极压电驱动器是一种新型的压电元件，根据表面 电极形状可以分为柱状结构全电极压电驱动器（CBEPA ）和柱状结构半电极压 电驱动器（HCBEPA ）。两者都是建立在压电材料的逆压电效应理论基础之上， 使用了较大的压电常数 d33 或 e33 ，所以与传统型电极压电驱动器相比，柱状结构 分支电极压电驱动器在轴向上的应变和应力可以提高很多。为了优化设计，面向 工程应用，本文对 CBEPA 和 HCBEPA 的静动态驱动特性进行了较系统的研究。 设计了 CBEPA 和 HCBEPA 压电驱动器，依据压电本构方程，建立输出力和输出 位移理论模型。通过有限元法对压电元件进行电学和力学分析，以确定其极化电 压和静力学性能，并与普通形电极压电元件进行了比对。结果表明，柱状结构分 支压电元件的极化电压为普通形电极压电元件的 1/2，实现了低电压下极化；压 电元件利用 d33 模态激发出较高的轴向机电耦合效率，轴向应力能达到传统型的 2.5 倍，轴向应变可以达到传统型的 1.5 倍。实现压电驱动器的大行程、大推力 的输出特性。 研究压电陶瓷材料的组分特性对压电元件轴向驱动性能的影响，进行组分选 材的设计改 良压电元件的性能。并基于振动理论，建立悬臂杆结构 CBEPA 和 HCBEPA 的电路状态方程和机械振动方程，利用有限元软件分析了 CBEPA 和 HCBEPA 三种振动模式及其共振特性随尺寸参数的变化关系。并对其进行谐响 应分析和瞬态分析，获得频域和时域响应曲线和选取节点的运动轨迹图，从而获 得了较为全面的驱动特性。仿真结果表明， CBEPA 轴向振动模态的特征频率为 34.4kHz ，且压电振子在轴向谐振时，最大振幅约为 24.8μm ；在谐振频率为 9380Hz 处，HCBEPA 压电振子的一阶弯曲振动得到激发且振幅最大，x 轴、z 轴 方向振幅分别为 3μm 和 1.7μm ，在 31.59kHz 处，二阶弯曲振动的振幅达到极值， x 、z 向的振幅为 5.6μm 和 3.8μm 。本文的研究工作对于柱状结构分支电极压电驱 动器的设计、制造与测试具有重要意义。 关 键 词：柱状结构分支电极；压电驱动器；本构方程；有限元方法；驱动性 能； I 目录 目 录 第 1 章 绪论 1 1.1 课题的研究背景与意义 1 1.2 压电驱动器国内外现状 1 1.2.1 国外研究现状 2 1.2.2 国内研究现状 3 1.3 压电驱动器的结构及应用 5 1.3.1 （单）双晶片 5 1.3.2 叠堆型 5 1.3.3 复合结构 6 1.3.4 压电陶瓷驱动器的应用 6 1.4 本文研究的主要内容 7 第 2 章 元件简化模型和轴向静力学性能分析 9 2.1 压电原理 9 2.1.1 压电效应 9 2.1.2 四类压电方程 10 2.2 有限元模型的建立 11 2.2.1 元件结构分析 11 2.2.2 电场分析 12 2.2.3 局部模型 18 2.3 静力学方程的建立 20 2.4 轴向力学性能分析 21 2.4.1 电极间距对驱动性能