磁控溅射沉积La--Ti掺杂WS2基润滑薄膜的摩擦学性能.pdfVIP

摘要 摘 要 WS2 薄膜具有六方层状结构，分子层间易发生剪切滑移，表现出良好的减摩 性能。但纯WS2 薄膜致密性差，易发生氧化反应，导致其性能不稳定。选用特 定的镀膜方法制备金属掺杂WS2 基复合薄膜，可有效改善WS2 薄膜的组织结 构，进而获得摩擦磨损性能优良的润滑薄膜。 本文采用磁控溅射法分别制备WS2 薄膜、Ti/WS2 复合薄膜和La-Ti/WS2 复 SEM EDS X XRD 合薄膜。利用扫描电镜 （ ）、能谱仪 （ ）和 射线衍射仪 （ ）对 薄膜微观形貌、成分及结构进行表征，采用纳米压痕仪、摩擦磨损试验机和白光 干涉三维形貌仪测试薄膜的力学性能、摩擦系数和磨损率。重点研究La 和La- Ti 掺杂对WS2 基复合薄膜摩擦学性能的影响，分析薄膜磨痕形貌特征，研究其 磨损机理。 研究了不同工艺参数下WS2 基润滑薄膜的微观组织结构。随着氩气流量增 加，薄膜沉积速率和晶粒尺寸先增大再小幅减小，S/W 比先增大再减小，致密 性先降低再升高。随着沉积压力升高，薄膜沉积速率和晶粒尺寸先减小再增大， S/W 比和致密性先升高再降低。随着Ti 靶或La-Ti 靶溅射功率增大，Ti/WS2 和 La-Ti/WS2 复合薄膜沉积速率和晶粒尺寸减小，S/W 比总体先减小再增大，致密 性明显提高，WS2 （10 1）棱面优势取向生长逐渐消失。与纯WS2 薄膜和Ti/WS2 复合薄膜相比，稀土元素La 的掺杂有效细化了La-Ti/WS2 复合薄膜晶粒尺寸， 显著改善薄膜结构致密性，大幅降低薄膜S/W 比，WS2 疏松柱状晶结构生长被 抑制，形成易滑移的 （002 ）基面优势取向。 研究了不同工艺参数下WS2 基润滑薄膜的力学性能。随着氩气流量增加， 3 2 H/E H /E 薄膜硬度、弹性模量、 及 值先减小再增大。随着沉积压力升高，薄膜 3 2 硬度、弹性模量、H/E 及H /E 值总体上先增大再减小。随着Ti 靶或La-Ti 靶溅 3 2 射功率增大，Ti/WS2 和La-Ti/WS2 复合薄膜硬度、弹性模量、H/E 及H /E 值总 WS Ti/WS La 体呈上升趋势。与纯 2 薄膜和 2 复合薄膜相比，稀土元素 的掺杂产 生细晶强化作用明显，La-Ti/WS2 复合薄膜表现出更高的显微硬度和良好的抗弹 塑性变形能力。 研究了不同工艺参数下WS2 基润滑薄膜的摩擦磨损性能。随着氩气流量增 加，薄膜摩擦系数及磨损率先增大再减小。随着沉积压力升高，薄膜摩擦系数及 磨损率先减小再增大。随着Ti 靶或La-Ti 靶溅射功率增大，Ti/WS 和La-Ti/WS 2 2 复合薄膜摩擦系数及磨损率先减小再增大。在氩气流量40sccm 、沉积压力1.2Pa 和La-Ti 靶溅射功率20W 时，La-Ti/WS2 复合薄膜摩擦系数最小，为0.084 ，其 I 摘要 磨损率相比纯WS2 薄膜和Ti/WS2 复合薄膜降低约2 个数量级，低至5.47 ×10- 9 3 mm /N m La-Ti/WS