材料科学研究方法课件-8深大第八章－扫描电镜及能谱仪.pdf

第八章扫描电子显微镜 (SEM) 及电子探针（EPMA） 深圳大学材料学院 1 第一部分 SEM工作原理及构造 一、工作原理 二、构造与主要性能 第二部分 SEM像衬原理与应用 一、像衬原理 二、应用 2 透射电镜的成像—— 电子束穿过样品后获得样品 衬度的信号（电子束强度），利用电磁透镜（三级） 放大成像。 扫描电镜成像——利用细聚焦电子束在样品表面扫 描时激发出来的各种物理信号来调制成像的。 早在1935年，德国的Knoll就提出了扫描电镜的工作原理。 1938年，Von Ardenne 开始进行实验研究。 1942年，Zworykin、Hill 制成了第一台实验室用的扫描 电镜，但真正 作为商品，那是1965年的事。 70年代开始，扫描电镜的性能突然提高很多，其分辨率优 于20nm， 才广泛地被应用。 3 SEM原理与TEM 的主要区别： 1）在SEM中电子束并不像TEM中一样是静态的： 在扫描线圈产生的电磁场的作用下，细聚焦电 子束在样品表面扫描。 2）由于不需要穿过样品，SEM的加速电压远比 TEM低；在SEM中加速电压一般在200V 到50 kV范围内。 3 ）样品不需要复杂的准备过程，制样非常简单。 4 扫描电镜的主要性能与特点 放大倍率高（M=Ac/As ） 分辨率高（d0=dmin/M总） 景深大（F≈ d0/β） 保真度好 样品制备简单 5 放大倍率高 从几十放大到几十万倍，连续可调。放大 倍率不是越大越好，要根据有效放大倍率和分 析样品的需要进行选择。如果放大倍率为M， 人眼分辨率为0.2mm，仪器分辨率为5nm， 6 则有效放大率M＝0.2×10 nm÷5nm=40000 （倍）。如果选择高于40000倍的放大倍率， 不会增加图像细节，只是虚放，一般无实际意 义。放大倍率是由分辨率制约，不能盲目看仪 器放大倍率指标。 6 放大倍率 广泛的放大倍率 果蝇： 不同倍率的扫描电 镜照片 7 分辨率高 分辨率指能分辨的两点之间的 最小距离。分辨率d可以用贝 克 公 式 表 示 ： d=0.61λ/nsinα ，α为透镜 孔径半角，λ为照明样品的光 波长，n为透镜与样品间介质 折射率。 对光学显微镜α＝70°－75°，n=1.4。因为nsinα1.4，而可见 光波长范围为：λ＝400nm-700nm ，所以光学显微镜分辨率 d≅0.5λ ，显然d 200nm。要提高分辨率可以通过减小照