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2021/2/6 * 3.2 显微分析 3.2.1光学显微镜 最常用的也是最简单的观察材料显微组织的工具, 能直观地反映材料样品的组织形态(如晶粒大小、珠光体还是马氏体、焊接热影响区的组织形态、铸造组织的晶粒形态等) 分辨率低(约200nm),放大倍率低(约1000倍即103倍)为可见光源,玻璃透镜。因此只能观察到102 nm尺寸级别的组织结构,而对于更小的组织形态与单元(如位错、原子排列)则无能为力。 光学显微镜只能观察表面形态而不能观察材料内部的组织结构,更不能对所观察的显微组织进行同位微区成分分析。 进行几千个原子的晶粒大小、表面形态、相的形成等分析。 2021/2/6 * 3.2.2 X射线衍射(XRD,X-Ray Diffraction)分析 XRD,是利用X-Ray在晶体中的衍射现象来分析材料的晶体结构、晶格参数、晶体缺陷(位错等)、不同结构相的含量以及内应力的方法。 这种方法是建立在一定的晶体结构模型基础上的间接方法。即根据与晶体样品产生衍射X-Ray信号的特征去分析计算出样品的晶体结构与晶格参数,并可以达到很高的精度。 然而,由于它不是像显微镜那样直接可见的观察,因此也无法把形貌观察与晶体结构分析微观同位地结合起来。 由于X-Ray聚焦的困难,所能分析样品的最小区域(光斑)在“毫米”数量级,因此对微米、纳米级微观区域的选择性分析也是无能为力的。 2021/2/6 * EM是用高能电子束作光源,用磁场做透镜制造的具有高分辨率和高放大倍数的电子光学显微镜。 (1).透射电子显微镜(TEM,Transmission Electron Microscope) TEM是采用透过薄膜样品的电子束成像来显示样品内部组织形态与结构的。 可以在观察样品微观组织形态的同时,对所观察的区域进行晶体结构鉴定——同位分析。 TEM最早由德国发明。其分辨率为10-1nm,放大率 106倍(100万),但制样困难。 3.2.3 电子显微镜(EM, Electron Microscope) 2021/2/6 * (2).扫描电子显微镜(SEM,Scanning Electron Microscope) SEM是利用电子束在样品表面扫描激发出来代表样品表面特征的信号成像的。 最常用来观察样品表面形貌(断口等),还可观察样品表面的成分分布情况。 法国最早,60年代开始。分辨率可达 1nm,放大倍数可达 2×105倍(10万倍)。 2021/2/6 * (3).电子探针显微分析(EPMA,Electron Probe Micro-Analysis) EMPA是利用聚焦的超细的电子束打在样品的微观区域,激发出样品该微区的特征X-Ray,分析其X-Ray的波长和强度来确定样品的微观区域的化学成分。 将扫描电镜(SEM)与电子探针显微分析(EPMA)结合起来,则可在观察微观形貌的同时对该微观区域进行化学成分同位分析。 2021/2/6 * (4).扫描透射电子显微镜(STEM,Scanning Transmission Electron Microscope) STEM同时具有SEM和TEM的双重功能。 若配上电子探针附件(分析电镜)则可实现对微观区域的组织形貌观察,晶体结构鉴定和化学成分测试“三位一体”的同位分析。 (5).超高压透射电子显微镜 可用于较厚的样品。 (6).场离子电子显微镜 2021/2/6 * 包括扫描隧道显微镜STM(在1981年由Dr.Gerd Binnig发明,垂直方向分辨率达0.01nm,水平方向分辨率达0.1nm,由此于1986年获诺贝尔物理奖)、扫描探针(SPM)、扫描近场光学显微镜。 观察微观形貌的同时对该微观区域进行化学成分同位分析。 3.2.4 扫描探针显微技术 3.2.5 原子力显微镜(AFM) 1986年由Dr.Gerd Binnig发明原子力显微镜。可测量表面原子间的力,测量表面的弹性、塑性、硬度、摩擦力等性质。 2021/2/6 * 3.3?成分分析 (1)??? X射线荧光分析 (2)??? 原子吸收光谱 (3)??? 质谱分析 (4)??? 中子活化分析 (5)??? 电子探针和质子探针 (6)??? 俄歇电子谱AES (7)??? 光电子谱仪 (8)??? 二次粒子质谱 2021/2/6 * 化学分析与光谱分析 化学分析只能给出一块试样材料的平均成分(所含每种元素的平均含量),并可以达到很高的分析精度,但不能给出所含元
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