传感器课件6章压电式传感器.pptVIP

2021/2/11 * 6.3.2.1 电压放大器（阻抗变换器） 压电器件的输出电压为: 1. 压电输出特性 2021/2/11 * ,故回路输出电压及灵敏度为: 回路输出电压: 灵敏度的幅值和相位为: 2021/2/11 * 理想情况下 2. 动态特性 输出电压灵敏度: 2021/2/11 * 从图中分析: (1) 高频特性 当ωτ 1时,即当回路时间常数一定时,被测量频率越高,输出电压灵敏度越接近理想状态。表明器件高频响应特性好。 （2）低频特性当ωτ 1时,即当回路时间常数一定时,被测量频率越低,输出电压灵敏度越偏离理想状态。 动态误差δ=(k-1)*100%越大。相位角误差也大。 为保证低频工作时满足一定的精度,必须增加时间常数τ＝RC。途径一:增大C,但Kum将减小,不可取;途径二:增大R=RaRi/(Ra+Ri),即要求放大器的输入电阻Ri足够大。 2021/2/11 * 设计和使用时应注意: (1) 特性曲线显示了被测角频率ω(=2πf)、放大器输入电阻Ri和动态误差δ或相位角误差之间的关系。因此在设计和应用压电传感器时,可根据给定的精度δ,合理选择Ri和f 。 (2) 由于采用电压放大器的压电传感器,其输出电压受电缆分布电容Cc的影响。压电传感器与前置放大器之间连接电缆不能随意更换,否则将偏离原标定的灵敏度,引入测量误差。 解决办法:将放大器放入传感器中。 电压放大器电路简单、成本低、工作可靠。但不能用于静态测量。 2021/2/11 * 1. 工作原理和输出特性 电荷放大器将压电器件高内阻的电荷源转换为传感器低内阻的电压源,以实现阻抗匹配,并使输出电压正比于输入电荷。且传感器的灵敏度不受电缆变化影响。 输入阻抗1010~1012欧,输出阻抗小于100欧。 优点:在一定条件下,传感器灵敏度与电缆长度无关。 电荷放大器实际是具有深度负反馈的高增益放大器,等效电路如下页图。 反馈电容Cf 、高增益运算放大器A,开环增益足够大,运放输入端电流几乎为零,则推导得: 6.3.2.2 电荷放大器 2021/2/11 * 结论:电路线性好,电缆对性能无影响 反馈电容Cf 、高增益运算放大器A,开环增益足够大,运放输入端电流几乎为零,则推导得: 2021/2/11 * 高低频限 高频上限: 低频下限: 2021/2/11 * 四通道电荷放大器外形 . 2021/2/11 * 上图所示的四通道电荷放大器指标（参考东方振动和噪声技术研究所资料） 灵 敏 度:0.1～1000mV/pC???????频率范围:0.3～100KHz ?????? ?噪声(最大增益):折合至输入端小于5μV???????准 确 度:1%???????最大输出:±10V/10mA???????电????源:220V/50Hz? ?控制方式:?计算机或手动 2021/2/11 * 超小型电荷放大器模块 主要指标:???????灵 敏 度:1、10、100mV/pC(任选一档)???????频率范围:0.3～100KHz(上、下限可选)???????噪声(最大灵敏度):输出端小于1mV???????归 一 化:外接电阻调整???????线性误差:1%???????最大输出:±5V或±10V???????电????源:±6V～±15V ???特点:可组成经济的多点测试系统 2021/2/11 * 其他电荷放大器外形 面板式电荷放大器 2021/2/11 * 其他电荷放大器外形（续） 2021/2/11 * 6.4 压电式传感器及其应用 凡是利用压电材料的各种物理效应构成的传感器均称为压电传感器; 力－电转换的变形方式(P148表6－5) 受力及变形方式常用:厚度变形的压缩式、剪切变形的剪切式 2021/2/11 * 多片压电材料的连接 (a)并联, U不变,2Q 常用并联; (b) 串联,Q不变,2U 2q 2U 2. 压电元件的结构和组合形式 压电传感器在压力较低时线性度不好,因此加入预加力,称预载,消除非线性,同时提高刚度。只有加预载才能测量拉力、交变力、剪力、扭矩。 2021/2/11 * 连接方式 特点 说明 备注 并联 电压相等电容相加电荷相加 传感器时间常数增大,电荷灵敏度增大,适用于电荷输出、