第二章-薄膜制备技术基础.pptVIP

工作温度在20K的泵可以达到10-10 Torr 10K, 除H2/He/Ne的所有气体饱和蒸气压均低于10-22Torr 20K~80K, P(T) 10-9Torr 低温捕集：一种气体在另一种气体凝成的多孔性冷凝物上面或内部的吸附, 氩对氢的低温捕集 低温吸附：可将蒸气抽到远低于其饱和蒸气压的压强(H2/He/Ne);若单分子层覆盖很小，表面饱和蒸气压强可降低到蒸气自身的冷凝物上方饱和蒸气压的10-1 ~ 10-12倍 容器越大，越需要多个泵联合工作 * 湿泵不适用于存在反应气体的腔体 * 优点：响应速度快 缺点：需要校正，对于不同的气体，常有不同的测量范围 2021/2/7 * （6）吸附泵 可吸附有毒有害气体 和易燃易爆气体 无油真空泵 常和其它干式真空泵联合 使用 运行成本高 2021/2/7 * 真空泵的比较 2021/2/7 * 为何高真空泵管道粗,低真空泵管道细? 2021/2/7 * 种 类 原 理 工作压强范围 机 械 泵 油封机械泵（单级） 油封机械泵（双级） 分子泵 罗茨泵 利用机械力压缩排除气体 大气压至1Pa 大气压至10-2Pa 10-1~10-7Pa 103~10-3Pa 蒸 气 喷 射 泵 水银扩散泵 油扩散泵 油喷射泵 靠蒸气喷射的动量把气体带走 1~10-6Pa 干 式 泵 溅射离子泵 钛升华泵 利用溅射或升华形成吸气、吸附排除气体 10-2~10-8Pa 吸附泵 冷凝泵 冷凝吸附泵 利用低温表面对气体进行物理吸附排除气体 大气压至10-2Pa 10-3~10-10Pa 10-3~10-8Pa 2021/2/7 * 第四节 真空测量一、概述 测量原理均是利用测定在低气压下与压强有关的某些物理量,再经变换后确定容器的压强。 当压强改变时,这些和压强有关的特性也随之变化的物理现象,就是真空测量的基础。 任何具体的物理特性,都是在某一压强范围才最显著。因此,任何方法都有其一定的测量范围,即为该真空计的“量程”。目前,还没有一种真空计能够测量1大气压至10-10Pa整个范围的真空度。 真空计分为绝对真空计和相对真空计。根据测量原理的不同,可分为具体的真空计。 2021/2/7 * 表2.4-1 几种真空计的工作原理与测量范围 名 称 工 作 原 理 测量范围/Pa U形管真空计 利用大气与真空压差 105~10-2 水银压缩真空计 根据Boyle定律 103-10-4 热阻真空计 利用气体分子热传导 104~10-2 热偶真空计 热阴极电离真空计 利用热电子电离残余气体 10-1~10-6 B-A型真空计 10-1~10-10 潘宁磁控电离计 利用磁场中气体电离与压强有关的原理 1~10-5 气体放电管真空计 利用气体放电与压强有关的原理 103~1 2021/2/7 * 二、真空计的选择 低真空(atm ~10-4 Torr) 热偶,Pirani 真空计,膜片式真空计 高真空 电离规 Ion Gauge 剩余气体分析Residual Gas Analyzer （1）压强范围;（2）测量压强的类型,总压还是分压;（3）真空中的残余气体种类;（4）测量精度要求 2021/2/7 * 1.热偶真空计: 20 ～10-3Torr 散热与气体压强相关 ?加热丝的温度与气体压强相关 用热偶测量加热丝的温度?压强 特点: (1)相对真空计 (2)与气体分子的热传导有关,有热惯性 (3)有一定的测压范围 (4)环境温度的变化不影响读数 三、几种典型的真空计 2021/2/7 * 2.热阻真空计（100 ～10-4Torr） 散热与气体压强相关 ?加热丝的温度与气体压强相关 加热丝的电阻与温度相关用平衡 电桥测量加热丝的电阻?压强 特点: (1)相对真空计 (2)与气体分子的热传导有关 (3)有一定的测压范围 (4)环境温度的变化影响读数 2021/2/7 * 热丝发射热电子 热电子加速并电离气体,离子被收集形成电流 电流与压强成正比 特点: (1)相对真空计 (2)一般用于测高真空系统的压强 (3)在一定的压强范围内,离子电流和P成线性关系(10-1 Pa~10-8Pa） (4)反应迅速,可实时连续测量压强变化 （5）测量的物理量与气压成线性 3.电离真空计 真空并非是没有物质的空间，在可能实现的最高真空条件下(10-19Torr)，仍有~102molecules/cm3 背底真空 表面覆盖度surface coverage, as a fraction of the maximum attainable surface coverage * 背底真空 表面覆盖度surface coverage, as a fraction of the maximum at