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基于界面酸化的微细电解加工用脉冲电源设计 摘要：高频脉冲电源是实现精密微细电解加工的重要因素之一。为兼顾加工定域性及提升工件蚀除速率，基于界面酸化特性机理，文中研制了一种能实现脉间期内向工件/电解液界面加酸特性的高频脉冲电源。利用研制的高频脉冲电源，进行微细电解加工实验。采用0.5 mol·L 金属合金材料在制造业中占有重要地位。随着金属合金材料性能的不断提升，在一些高端设备中，微小精密金属合金器件被大量使用于设备的核心部件中。高端设备中，异形合金器件的尺寸在几十到几百微米之间，其性能决定着整个设备的质量。以上所述合金器件主要是孔径为0.1～0.2 mm、深度为0.1～0.5 mm的微孔或微槽。器件的主要要求为表面粗糙度小、尺寸精度高、无加工重熔层。电解加工蚀除机理是利用氧化还原反应，以离子形式蚀除加工工件，因此能将加工精度控制在微米和纳米尺寸。电解加工在面对合金材料微三维结构的加工中具有显著优势微细电解加工过程中脉冲电源性能对提高加工工艺水平起着决定性作用。采用高频脉冲电源是提高加工质量和加工精度的重要手段之一本文从微细电解加工原理出发，研究微细电解加工机理中界面酸性化特征，寻找工件电极/电解液界面加酸对去除增厚的钝化膜、溶解加工产物、提升电解液电导率的关系，继而提升工件蚀除速率和工件外观形貌。本文研制出具有脉间输出能力的三电极高频脉冲电源，并与双电极脉冲电源进行微细电解加工对比实验。实验证明了脉间期工件电极/电解液界面加酸工作机理的正确性及三电极脉冲电源的可靠性。 脉间界面酸化特性机理 电解加工基本原理电解加工是在工具电极(阴极)与工件电极(阳极)之间施加一定电压，利用电极在电解液中产生电化学反应而将加工工件蚀除成型的方法电化学反应过程中，工件电极金属原子由于被氧化而生成的金属离子与电解液中的OH 钝化膜增厚及界面加酸过程分析电解加工过程中，当金属阳极的电极电位处于一定范围时，在一些氧化性较强的阴离子作用下，金属表面形成吸附氧层或氧化物层，即钝化膜 (1)为了减薄钝化膜厚度，溶解沉淀物并提高加工电流密度，进而提高加工效率和表面质量，常采用的方法之一是电解液加酸。电解液加酸后，溶液中充满H基于环保方面的考虑，本文采用中性盐类钝性电解液。在加工间期，向增设的辅助电极与工件电极之间施加一个反向电压，在此期间内辅助电极成为阳极被氧化，工件电极成为阴极，H由于只在脉间期内向辅助电极与工具电极施加反向电压，因此需要考虑在此时间内HEE(OH)通过利用辅助电极完成工件电极/电解液界面加酸，在不改变电解液性质的前提下，仅通过施加反向电压，达到了钝化膜减薄、电解产物加速排除的目的，提高了微细电解加工的加工效率及工件表面的加工质量。 具有脉间输出能力的高频脉冲电源设计 脉冲电源主电路拓扑本研究采用程控直流稳压电源与斩波式脉冲输出相结合的方式来设计脉冲电源的主电路拓扑，其结构图如图4所示。三电极脉冲电源包括主路可调直流电源主路可调直流电源管驱动信号时序约束为实现脉间期内工件电极/电解液界面加酸过程，设计采用FPGA中信号发生器产生异步脉冲来控制各MOS管的开通与截止，以实现MOS斩波及极间电压泄放的功能。各MOS管栅极控制波形时序图及工件电极(Workpiece Electrode, WE)/工具电极(Tool Electrode, TE)与辅助电极(Auxiliary Electrode, AE)/工件电极间的脉冲信号满足图5所示时序约束。在在在脉宽、脉间期内各MOS管的开通、截止设计为了超前或者滞后一定时间，进而使两路控制信号之间的相位差小于180°,避免了两路MOS管产生直通现象造成MOS管损坏。如图5所示，工件电极/工具电极之间的脉冲 实验分析 脉冲电源输出波形将研制的脉冲电源装配到微细电解加工系统中，给定脉宽、脉间值，并设置输出电压，对脉冲电源进行波形输出调试，在工具电极/工件电极与辅助电极/工件电极之间接入双路示波器，观察波形输出。波形如图6所示。工件电极/工具电极与辅助电极/工件电极之间输出的脉冲周期相同、幅值不等，并且相位差小于180°,满足设计需求。 微细电解阵列孔加工实验为验证脉冲电源的可行性与可靠性，利用微细电解加工实验平台进行阵列孔加工实验。该实验平台由数控系统、脉冲电源、伺服系统、泵液系统和机械本体构成。机械本体能完成工具电极采用中空工艺，并将0.5 mol·L在保证加工条件如上所述的情况下，只改变工具电极的进给速度进行3组3×3阵列孔加工实验，实验结果如图8～图10所示。由实验结果得出，相同加工实验条件下，在工具电极进给速度由6 μm·s图11和图12给出了微