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液体静压导轨技术分析 摘要：液体静压导轨技术主要用于精密与超精密机床，现介绍静压导轨滑块的工作原理，并分别从油膜厚度、流量控制器、热变形这三个影响因素出发，对液体静压导轨的性能进行阐述，总结众多学者对这三方面影响因素的研究成果。 0 引言液体静压技术于1983年被应用到天文望远镜上，随后逐渐应用于超精密机床的进给系统。国内开始研究液体静压技术的时间相对国外较晚，我国液体静压技术的发展经历了原理验证、生产性试验、理论研究、技术应用这4个阶段。经过摸索与探讨，我国静压导轨技术的研究已初具规模。液体静压导轨技术具有高精度、高刚度、抗震性好、工作寿命长、工况稳定且摩擦力小等特点德国海浮乐公司在液体静压导轨项目上的研究处于世界领先水平，该公司提出了将液体静压导轨模块化的概念，所谓“模块化”是指液体静压导轨滑块集流量控制器、静压油腔、油腔压力传感器于一体，且集成化的静压滑块具有较高的互换性。我国在液体静压导轨技术方面相对来说较落后，无法对静压导轨滑块进行模块化处理。流量控制器的原理方法也不尽相同，德国海浮乐公司采用PM(Progressive Mengen）流量控制器进行液压油流量、油压的控制，如图1所示。PM流量控制器是一种预压调型单面薄膜反馈节流器，液压油进入PM流量控制器后分为两部分，一部分调节腔室油压以达到预紧的目的，另一部分则沿本体底部进入矩形的节流槽，其对油膜厚度