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透明导电薄膜 透明导电薄膜发展历史 透明导电薄膜结构 透明导电氧化物薄膜的基本特性 透明导电氧化物薄膜的制备方法 透明导电薄膜应用 透明导电膜使用说明 透明导电薄膜概述 透明导电薄膜是一种既能导电又在可见光范围内具有高透明率的一种薄膜，主要有金属膜系、氧化物膜系、其他化合物膜系、高分子膜系、复合膜系等。金属膜系导电性能好，但是透明率差。半导体薄膜系列刚好相反，导电性差，透明率高。当前研究和应用最为广泛的是金属膜系和氧化物膜系。透明导电薄膜主要用于光电器件（如LED，薄膜太阳能电池等）的窗口材料。常见的透明导电薄膜为ITO（锡掺杂三氧化铟）、AZO(铝掺杂氧化锌)等，它们的禁带宽度大，只吸收紫外光，不吸收可见光，因此称之为“透明”。透明导电膜是通过真空溅射方法，在透明聚脂膜片上沉积含银等金属的高导表面，透明导电薄膜有较好的导电性，并且具有优良的可见光透光性。 透明导电薄膜发展历史 20世纪初，透明性与导电性可以共存首次在Cd的氧化物中发现。 60年代ITO成为透明导电材料的主。 70年代光学多层膜研究开辟了透明导电多层膜的研究领域。 80年代掺杂ZnO作为ITO的最佳替代材料而广泛研究。 到90年代随着光电子产业的快速发展，对透明导电膜的物理化学性能提出更高的要求，这样多组元TCO材料的开发就应运而生，与此同时，TCO与金属复合的多层膜系也取得了一定的研究成果。目前研究的焦点主