电镜资料：第一章 电子显微镜.pptVIP

电子显微镜的发展史 除透射电镜外，还发展了多种电镜，如扫描电镜、分析电镜等。 分析电镜analytic electron microscope （AEM）一种带有波谱仪或能谱仪的电子显微镜，由SEM、TEM和电子探针组合而成，可以在观察样本形貌的同时了解微小区域内所含元素的种类及其含量，在细胞超微结构水平上对其内部的化学元素成分进行定位、定性、定量分析。 电子探针将高度聚焦的电子束聚焦在矿物上，激发组成矿物元素的特征X射 线。用分光器或检波器测定荧光X射线的波长，并将其强度与标准样品对比，或根据不同强度校正直接计数出组分含量。 二、电子与固体试样的交互作用  ⑴ 透射电子 直接透射电子，以及弹性或非弹性散射的透射电子用于TEM成像和衍射。 ⑵ 背景散射电子 入射电子穿透到离核很近的地方被反射，而没有能量损失。用于SEM成像。 ⑶ 二次电子 入射电子→原子外层电子。二次电子和背景散射电子用于SEM成像。 当探针很细，分辨率很高时，基本上收集的是二次电子，而背景电子很少。 二次电子SEI（二次电子成像）定义：如果入射电子撞击样品表面原子的外层电子，把它激发出来，就形成低能量的二次电子。 ⑷俄歇电子（Auger） 外层电子→内层。如果入射电子把外层电子打进内层，原子被激发了，为释放能量而电离出次外层电子，叫俄歇电子。用于轻元素和超轻元素分析，叫俄歇电子能谱仪。 ⑸特征X射线：如果入射电子把样品表面原子的内层电子撞出，被激发的空穴由高能级电子填充时，能量以电磁辐射形式放出，就产生特征X射线。用于元素分析。 ⑹阴极荧光 如果入射电子使试样的原子内电子发生电离，高能级的电子向低能级跃迁时发出的光波长较长（在可见或紫外区），称为阴极荧光，可用作光谱分析。 各种信息的作用深度 第一部分 透射电子显微镜 第四节 透射电子显微镜主要性能 一、分辨率 二、放大倍数 显微镜放大倍数M=δ眼 /δOM （δOM –显微镜的分辨率） 为了看清原子，电镜必须有优于2.5?的原子尺寸的分辨率和50万—100万倍的放大倍数。（肉眼分辨率0.2mm） 三、衬度 衬度：在分析TEM图像时，亮与暗的差别即衬度，又称反差。 电子图像的衬度主要是吸收衬度。电子在试样中与原子相碰撞的次数越多，散射量就越大。总散射量正比与试样的密度和厚度的乘积。 样品厚，图像暗；原子序数大，图像暗；密度大，图像暗。 其中，密度的影响最重要，因为高分子的组成中原子序数差别不大，所以样品排列紧密程度的差别是反差的主要来源。 第五节 透射电子显微镜样品制备 第二部分 扫描电子显微镜 第三节 扫描电子显微镜 引言 扫描电镜结构原理 扫描电镜图象及衬度 扫描电镜结果分析示例 扫描电镜的主要特点 二、扫描电镜结构原理 扫描电镜的工作原理及特点 扫描电镜的工作原理与闭路电视系统相似。 （1）电子光学系统 由电子抢、电磁聚光镜、光栏、样品室等部件组成。 作用：获得扫描电子束，作为使样品产生各种物理信号的激发源。 （2）偏转系统 作用：使电子束产生横向偏转，包括用于形成光栅状扫描的扫描系统，以及使样品上的电子束间断性消隐或截断的偏转系统。 偏转系统可以采用横向静电场，也可采用横向磁场。 （3）信号检测放大系统 作用：收集(探测)样品在入射电子束作用下产生的各种物理信号，并进行放大。 不同的物理信号，要用不同类型的收集系统。 闪烁计数器是最常用的一种信号检测器，它由闪烁体、光导管、光电倍增管组成。具有低噪声、宽频带(10Hz~1MHz)、高增益(106)等特点，可用来检测二次电子、背散射电子等信号。 （4）图像显示和记录系统 作用：将信号检测放大系统输出的调制信号转换为能显示在阴极射线管荧光屏上的图像，供观察或记录。 （5）电源系统 作用：为扫描电子显做镜各部分提供所需的电源。 由稳压、稳流及相应的安全保护电路组成。 （6）真空系统 作用：确保电子光学系统正常工作、防止样品污染、保证灯丝的工作寿命等。 3.像衬原理与应用 一、像衬原理 像的衬度就是像的各部分(即各像元)强度相对于其平均强度的变化。亮与暗的差别即衬度。 SEM可以通过样品上方的电子检测器检测到具有不同能量的信号电子有二次电子、背散射电子。 二次电子 　　入射电子与样品相互作用后，使样品原子较外层电子（价带或导带电子）电离产生的电子，称二次电子。二次电子能量比较低，习惯上把能量小于50eV电子统称为二次电子，仅在样品表面5nm－10nm的深度内才能逸出表面，这