材料科学研究（第4版）课件：XRF-STM.pptxVIP

XRF-STM 材料研究方法 课程内容 一 X射线荧光光谱 扫描隧道电镜 二 一、X射线荧光光谱（X-ray Fluorescence Spectroscopy, XRFS） 工作原理：光致发光。二次特征X射线波谱与能谱类似于电子探针中的波谱与能谱。 应用：定量分析与定性分析 一、X射线荧光光谱（X-ray Fluorescence Spectroscopy, XRFS） 分析 技术 探测 粒子 检测 粒子 信息深度/nm 检测质量极限/% 检测浓度极限/10-6 横向分辨率/m 不能检测元素 检测信息 损伤程度 谱线横坐标 XPS 光子 电子 1～3 10-18 1000 10～103 H，He 成分、价态 弱 结合能 AES 电子 电子 0.5～2.5 10-18 10～100 10-2~103 H，He 成分、价态、结构 弱 动能 XRF 光子 光子 金属:≤0.1mm 树脂：≤3mm 10-2 1 H，He，Li 成分 无 波谱（波长）；能谱（能量） AES、XPS、XRF三者之间的特性比较 二 、扫描隧道电镜（Scanning Tunnelling Microscopy, STM） 1. STM的基本原理 图9-25 隧道效应示意图 图9-26 STM结构原理图 隧道电流： 注意：1）隧道电流与绝缘体厚度呈指数关系，对厚度十分敏感，故其精度高。2）待测试样为导体、针尖为金丝、铂丝、钨丝等，针尖长度不超0.3nm,理想为1个原子。 二 、扫描隧道电镜（Scanning Tunnelling Microscopy, STM） 2. STM的工作模式 （a）恒流式 （b）恒高式 图9-27STM的工作模式 二 、扫描隧道电镜（Scanning Tunnelling Microscopy, STM） 1）横流模式 让针尖安置在控制针尖移动的压电管上，由反馈电路自动调节压电管中的电压，使针尖在扫描过程中随着样品表面的高低上下移动，并保持针尖与试样表面原子间的距离不变，即保持隧道电流的大小不变（恒流），通过记录压电管上的电压信号即可获得样品表面的原子结构信息。该模式测量精度高，能较好地反映样品表面的真实形貌，但比较费时。 2）恒高式 即针尖在扫描过程中保持高度不变，这样针尖与样品表面原子间的距离在改变，因而隧道电流随之发生变化，通过记录隧道电流的信号即可获得样品表面的原子结构信息。恒高工作模式扫描效率高，但要求试样表面相对平滑，因为隧道效应只是在绝缘体厚度极薄的条件下才能发生，当绝缘体厚度过大时，不会发生隧道效应，也无隧道电流，因此当样品表面起伏大于1nm时，就不能采用该模式工作了。 二 、扫描隧道电镜（Scanning Tunnelling Microscopy, STM） 3. STM的特点 STM与前述的表面分析仪相比具有以下优点： 1）在平行和垂直于样品表面方向上的分辩率分别达到0.1nm和0.01nm，而原子间距为0.1nm量级，故可观察原子形貌，分辨出单个原子，克服了SEM、TEM的分辨率受衍射效应的限制，因而STM具有原子级的高分辨率。 2）可实时观察表面原子的三维结构像，用于表面结构研究，如表面原子扩散运动的动态观察等。 3）可观察表面单个原子层的局部结构，如表面缺陷、表面吸附、表面重构等。 4）工作环境要求不高，可在真空、大气或常温下工作。 5）一般无需特别制备样品，且对样品无损伤。 STM虽具有以上优点，但也存在以下不足： 1）恒流工作时，对样品表面微粒间的某些沟槽不能准确探测，分辨率也不高。 2）样品须是导体或半导体。对不良导体虽然可以在其表面涂敷导电层，但涂层的粒度及其均匀性会直接影响图像对真实表面的分辨率，故对不良导体的表面成像宜采用其他手段，如原子力显微镜等进行观察。 二 、扫描隧道电镜（Scanning Tunnelling Microscopy, STM） 4. STM的应用举例 图9-28 Mo(110)面生长Ni膜过程中的STM图 (a)-清洁表面 (b)-1.5ML (c)-3.9ML (d)-11.6ML 例1．Mo（110）表面Ni膜的生长研究 二 、扫描隧道电镜（Scanning Tunnelling Microscopy, STM） 例2．氧化膜的形成研究 图9-29NiAl(16 14 1)面氧化膜形成约20％时的STM照片 A-总貌（200×200nm2）B-膜核(45×45 nm2) C-膜簇（45×45 nm2） 二 、扫描隧道电镜（Scanning Tunnelling Microscopy, STM） 如图9-30