材料科学研究（第4版）课件：第九单元 表面分析技术.pptxVIP

第九单元 表面分析技术 材料研究方法 定义：是指通过一个探束(光子或原子、电子、离子等)或探针(机械加电场)去探测样品表面，并检测从样品表面发射及散射的各种物理信号，从而对样品表面进行分析和测量的技术。 结果信息： 1）表面的化学过程信息：如腐蚀、吸附、氧化、钝化等； 2）表面微观形貌特征信息； 3）表面成分信息，包括元素种类、含量及其分布规律等； 4）表面电子结构、化学价态、功能团的种类与分布等信息。 要求： 1）高的真空度（扫描隧道电镜除外）； 2）高的灵敏度； 常用仪器： 1）AES；2）XPS；3）XRFS、STM；4）LEED 、 AFM。 本章概述 一 结构原理 定性分析 定量分析 化学价态分析 二 三 四 五 应用举例 一、歇电子能谱分析（Auger Electron Spectroscopy，AES） 信息：俄歇电子（50～1500eV，平均自由程1nm左右） 用途：表层的成分分析及样品表面化学态的信息。 图9-1 俄歇能谱仪的结构示意图 一、结构原理 一、结构原理 需指出以下几点： 1）圆筒镜分析器中还带有一个离子枪，其功用主要有两个：（1）清洗样品表面，保证分析时样品表面干净无污染；（2）刻蚀（剥层）样品表面，以测定样品成分沿深度方向的分布规律。 2）激发俄歇电子的电子枪也可置于圆筒镜分析器外，这样安装维护方便，但会降低仪器结构的紧凑性。 3）样品台能同时安装6～12个样品，可依次选择不同样品进行分析，以减少更换样品的时间和保持样品室中的高真空度。 图9-2 Ag原子的俄歇电子谱 曲线A－为NE~E的正常能量分布，又称直接谱 曲线B－放大十倍谱 曲线C－微分谱 俄歇电子谱可进行定性和定量分析。 分析元素范围：Z2以上的元素。 一、结构原理 从图中可以看出： 当Z=3～14时， 俄歇峰由KLL跃迁形成； 当Z=15～41时， 俄歇峰由LMM、MNN跃迁产生； 当Z41时， 俄歇峰由MNN及NOO跃迁产生。 二 、定性分析 即为根据谱峰所对应的特征能量由手册查找对应的元素。 方法如下： 1）选取实测谱中一个或数个最强峰，分别确定其对应的特征能量，根据俄歇电子能量图或已有的条件，初步判定最强峰可能对应的几种元素； 2）由手册查出这些可能元素的标准谱与实测谱进行核对分析，确定最强峰所对应的元素，并标出同属于此元素的其他所有峰； 3）重复上述步骤，标定剩余各峰。 定性分析时的注意点： 1）可能存在化学位移，故允许实测峰与标准峰有数电子伏特的位移误差 2）核对的关键在于峰位，而非峰高。含量少时，峰高较低，甚至不显现 3）同一元素的俄歇峰可能有几个，不同元素的俄歇峰可能会重叠，甚至变形，微量元素的俄歇峰可能会湮没，而俄歇强峰并没有明显的变异 4）当图谱中有无法对应的俄歇电子峰时，这可能是一次电子的能量损失峰 定性分析可由计算机软件完成，但某些重叠峰和弱峰还需人工进一步确定 三 、定量分析 由于影响因素多，分析复杂，故定量分析的精度还较低，还只是半定量水平。 常规情况下，相对精度仅为30％左右。 定量分析常有两种方法：标准样品法和相对灵敏度因子法。 1．标准样品法。标准样品又有纯元素样品法和多元素样品法。 纯元素样品法：即在相同的条件下分别测定被测样和标准样中同一元素A 的俄歇电子的 主峰强度IA和IAS，则元素A的原子分数CA为 多元素标准样品法：首先制成标准试样，标准样应与被测样品所含元素的种类和含量尽量相近，此时，元素A的原子浓度为 由于多元素标准样制备困难，一般采用纯元素标准样进行定量分析。 三 、定量分析 2．相对灵敏度因子法 它是指将各种不同元素（Ag除外）所产生的俄歇电子信号均换算成同一种元素纯Ag的当量（又称相当强度），利用该当量来进行定量计算的。 具体方法如下：相同条件下分别测出各种纯元素X和纯Ag的俄歇电子主峰的信号强度IX和IAg，其比值IX/IAg即为该元素的相对灵敏度因子Sx，并制成手册。当样品中含有多种元素时，设第i个元素的主峰强度为Ii，其对应的灵敏度因子为Si，所求元素为X，其灵敏度因子为Sx，则所求元素的原子分数为 步骤： 1）由实测谱得各组成元素的俄歇电子主峰强度Ii，定性分析所含各种元素。 2）再分别查出各自的相对灵敏度因子Si，即可方便求得各元素的原子分数。 特点：1）计算精度相对较低； 2）无需标样。 四、化学价态分析 俄歇电子的产生通常有三种形式：KLL、LMM、MNN，它涉及到三个能级，只要有电荷从一个原子转移到另一个原子，元素的化学价态变化时，就会引起元素的终态能量发生变化，同时俄歇电子峰的位置和形状也随之改变，即引起俄歇电子