材料科学研究（第4版）课件：X射线光电子能谱仪.pptxVIP

材料研究方法X射线光电子能谱仪（X-Ray Photoelectron Spectroscopy, XPS） 工作原理课程内容一系统组成二三光电子能谱四谱峰的种类五应用一、工作原理原理：是利用电子束作用靶材后，产生的特征X射线（光）照射样品，使样品中原子内层电子以特定的几率电离，形成光电子（光致发光），光电子从产生处输运至样品表面，克服表面逸出功离开表面，进入真空被收集、分析，获得光电子的强度与能量之间的关系谱线即X射线光电子谱。与俄歇能谱一样，它仅能反映样品的表面成分信息，信息深度与俄歇能谱相同。光电子能量具有特征值.光电子谱线的峰位→元素的种类 高度→元素的含量 峰位位移→元素的化学状态作用：表面元素的定性分析、定量分析和化学状态分析。 一、工作原理为什么X射线光电子的动能具有特征值呢？设：光电子的动能为Ek，入射X射线的能量为h?，电子的结合能为Eb光电子的动能Ek： Ek= h?-Eb 考虑到光电子输运到样品表面后还需克服样品表面功?s，以及能量检测器与样品相连，两者之间存在着接触电位差（?A-?s），故光电子的动能为： Ek?= h?-Eb-?s-(?A-?s) 所以 Ek?= h?-Eb-?A 其中?A为检测器材料的逸出能，是一确定值，光电子的结合能Eb对于某一元素的给定电子来说是确定的值，因此，光电子的动能具有特征值。二 、系统组成图9-9 XPS仪基本构成示意图组成：X射线源、样品室、电子能量分析器、检测器、显示记录系统、真空系统及计算机控制系统等部分组成。 二 、系统组成1．X射线源 要求：X射线源单色，且线宽愈窄愈好。重元素的K?线能量高，但峰过宽，通常采用轻元素Mg或Al作为靶材Mg 的K?能量为1253.6eV，线宽为0.7eV；Al的K?能量为1486.6eV，线宽为0.85eV。装有单色器，提高信噪比和分辨率，但降低了特征X射线的强度，影响仪器的检测灵敏度。 2．电子能量分析器 图9-10半球形能量分析器工作原理图电子能量分析器－XPS的核心部件，功能：是将样品表面激发出来的光电子按其能量的大小分别聚焦，获得光电 子的能量分布。分类：磁场型和电场型两类。磁场型特点：分辨能力强，但结构复杂，磁屏蔽要求较高，故应用不多。电场型特点：体积小，结构紧凑，真空要求低，外磁场屏蔽简单，安装方便电场型又有筒镜形和半球形两种，其中半球形能量分析器更为常用。设光电子的速度为v，质量为m，电荷为e，球场中半径为r处的电场强度为E(r)，则光电子受的电场力为eE(r)，动能为光电子动能：通过调节电压U的大小，就在出口狭缝处依次接收到不同动能的光电子，获得光电子的能量分布，即XPS注意：实际上XPS图谱中的横轴坐标用的不是光电子的动能，而是其结合能。两球面之间电势：两球面之间电场强度：因此可得光电子动能与两球面之间所加电压之间的关系为：3．检测器 功能是对从电子能量分析器中出来的不同能量的光电子信号进行检测。4．高真空系统 具有以下两个基本功能：1）保证光电子在能量分析器中尽量不再与其他残余气体分子发生碰撞；2）保证样品表面不受污染或其他分子的表面吸附。5．离子枪 主要是用氩离子剥蚀样品表层污染，保证光电子谱的真实性。但在使用离子枪进行表面清污时，应考虑到离子剥蚀的择优性，也就是说易被溅射的元素含量降低，不易被溅射的元素含量相对增加，有的甚至还会发生氧化或还原反应，导致表面化学成分发生变化，因此，须用一标准样品来选择溅射参数，以免样品表面被氩离子还原或改变表面成分影响测量结果。 三 、光电子能谱图9-11 Fe及Fe2O3的标准光电子能谱图光电子的结合能对于某一确定的元素而言是定值，不会随入射X射线的能量变化而变化，因此，横坐标一般采用光电子的结合能。对于同一个样品，无论采用何种入射X射线MgK?还是AlK?，光电子的结合能的分布状况都是一样的。每一种元素均有与之对应的标准光电子能谱图，并制成手册。 三 、光电子能谱注意：每种元素产生的光电子可能来自不同的电子壳层，分别对应于不同的结合能，因此同一种元素的光电子能谱峰有多个:1）当原子序数小于30时，对应于K和L层电子有两个独立的能量峰；2）对于原子序数在35～70之间的元素，可见到LⅠLⅡLⅢ三重峰；3）对于原子序数在70以上的元素时，由M和N层电子组成的图谱变得更为复杂。 图9-12 Eb与z的关系图 M53d10M4M33p6n=3M23s2M1L32p6L2n=22s2L1Kα2Kα11s2n=1K三 、光电子能谱图9-13月球土壤的光电子能谱图（a） （b）图9-14 单原子能带示意图及Mg靶K?射线的卫星峰四、谱峰的种类