力学传感器及其应用.ppt

* 压电陶瓷（多晶）的压电效应2 外电场去掉后，内部有很强的剩余极化强度，总极化强度不为零，两端出现“+”、“-”束缚电荷，并吸附外界自由电子（与束缚电荷的符号相反，数量相等所以，片对外不表现出极性）符号相反，数量相等起着屏蔽和抵消陶瓷片内极化剩余强度对外的作用。 ①极化方向加外力（压力）使电畴界面发生位移（电畴偏转），导致剩余极化强度降低，部分电荷释放，即放电。 ②外力撤消时，极化强度恢复升高，导致电荷吸附，即充电。 极化后两三个月，压电系数d才稳定，两年后d又降低，所以传感器要经常校验。 * 3．压电元件及其晶片连接方法 在压电式力与压力传感器中，压电元件既是敏感元件，又是转换元件。它将被测力或压力转换成电荷或电压输出。压电元件在传感器中的布置形式有多种。如图为几种常见形式。 * 等效电路： 当压电传感器中的压电晶体承受被测机械应力的作用时，在它的两个极面上出现极性相反但电量相等的电荷。可把压电传感器看成一个静电发生器，如图(a)。也可把它视为两极板上聚集异性电荷，中间为绝缘体的电容器，如图(b)。其电容量为 ＋＋＋＋ ―――― q q 电极 压电晶体 Ca (b) (a) 压电传感器的等效电路 当两极板聚集异性电荷时，则两极板呈现一定的电压，其大小为 4．压电式传感器的等效电路和前置放大器 * 压电式传感器可以等效为一 个电压源和一个串联电容组成的 等效电路。 利用压电式传感器进行测量 时，它要与测量电路相连接，于 是，就得考虑电缆电容Cc、放大 器输入电阻Ri、输入电容Ci、以 及压电传感器的泄漏电阻Ra。 如果把这些因素归一考虑， 就得到了压电传感器完整的等效 电路。 一种是电荷等效电路，另一 种是电压等效电路。 压电元件的等效电路 * 压电式传感器的前置放大器有两个作用： ① 把压电式传感器的高输出阻变换成低阻抗输出； ② 放大压电式传感器输出的弱信号。 前置放大器形式： 电压放大器，其输出电压与输入电压（传感器的输出电压）成正比； 电荷放大器，其输出电压与输入电荷成正比。 （1）电压放大器 －K －K Ca Ca Ra Ri Ci Cc C R Ui USC USC Ua (a) (b) Ua 压电式传感器的前置放大器 * 电荷放大器是一个具有深度负反馈的高增益放大器，其基本电路如图。若放大器的开环增益K足够大，并且放大器的输入阻抗很高，则放大器输入端几乎没有分流，运算电流仅流入反馈回路CF与RF。 当K足够大时，输出电压与K无关，只取决于输入电荷q和反馈电容CF，改变CF的大小便可得到所需的电压输出。 CF一般取值100-104pF。 压电式传感器配用电荷放大器 时,其低频幅值误差和截止频率只 决定于反馈电路的参数RF和CF,其 中CF的大小可以由所需要的电压输出 幅度决定。。 －k Ca U∑ USC 电荷放大器原理电路图 i Ra q CF RF （2）电荷放大器 * 5、压电式力传感器 (1)压电式力传感器的类型及结构 压电式力传感器利用压电晶体的纵向和剪切向压电 效应。并以压电晶体作为敏感元件与转换元件。 在工程中，根据测力的具体情况，压电传感器可分为单分量和多分量两大类。 * (2)压电传感器的性能指标及选用原则★ 1)量程和频带的选择：对被测力的大小加以估计，选择量程适宜的传感器，使所测力的大小不超过额定量程。所选传感器的工作频带能覆盖待测力的频带。 2)电荷放大器的选择：测量准静态力(低频)信号。要求电荷放大器输入阻抗高于1012Ω，低频响应为0.001Hz 3)电缆选择：选用受振动、压力变化等影响所产生噪声小的低噪声电缆。 * (3) 压电传感器和电缆的安装★ 压电传感器的安装： 安装前，传感器的上、下接触面应经过精细加工以保证其平行度和平面度；安装时应该保证传感器的敏感轴向与受力方向一致； 安装必须牢固，否则会降低传感器的频响，还可能造成较大的测量误差。 电缆的安装： 电缆要固定，避免晃动，否则会产生电缆噪声，带来误差；电缆插头及插座要保持清洁，以保证绝缘处绝缘， 导电处导电。 * 3.1.3 压磁式力传感器 压磁式力传感器是利用铁磁物质的压磁效应(又称磁弹性效应)工作的传感器。又称为磁弹性式传感器。 1、压磁