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PAGE 1 PAGE 1 中国MEMS产业发展分析  传感网的特别应用对传感器提出了微型化、功耗低、价格低、牢靠性高、抗干扰性强等要求。传统传感器通常有着体积大、功耗高、价格高、牢靠性差等缺点，不能满意传感网节点的要求，而微电子机械加工（MEMS）技术的发展为传感器的上述要求供应了解决方法。假如说半导体产业是利用先进制造技术把人最核心的部分“大脑”进行微型化，那么MEMS产-  业则是利用微加工这种先进制造工艺将“人”整个系统进行微型化，其中包括人的感觉器官，即传感器。  近年来，MEMS(微电子机械系统)技术推动着半导体界超越摩尔定律的变革，在国内外得到了迅猛的发展。世界经过昨天的真空电子管时代，正跨越现在的固体电子时代进入明天的MEMS时代。MEMS产品将广泛应用于汽车、工业掌握、航天及医疗等领域。20XX年全球MEMS市场将突破100亿美元。与成熟的半导体产业渐渐降低的毛利率相比，MEMS作为一个新兴的产业，因其较高的技术壁垒，一直保持着可观的利润率。虽然目前全球MEMS市场规模与半导体产业3,000亿美金的市场规模相距甚远。但是MEMS做为一个全球新兴市场，当前所处发展阶段相当于半导体产业在70年月刚刚兴起的时候，发展潜力巨大。  在上述行业大背景下，中国MEMS产业面临着众多优势及机遇。首先，中国作为一个大国，有着人力资源的优势：中国有着众多国家基金支持（如863、973、电子发展基金、核高基等）的研究所及大学，培育了众多的MEMS专业人才，涉及到了MEMS基础研究的各个方面（材料、工艺、器件、牢靠性、封装等等），可以满意基础研发的需求。其次，中国拥有浩大的在美国及欧洲留学及工作的MEMS人才，如加以利用，可以解决高端研发人才缺乏的问题。  中国MEMS产业更多的机遇则来自于现有的产业环境，如：在市场时机方面：MEMS产业在全球范围内尚属新兴行业，国内外企业都还处于跑马圈地的过程中，这为中国MEMS产业迎头赶上国际先进水平供应了较好的战略时机；在市场空间方面：传感网的国家策略为国内MEMS产业的发展供应了巨大的市场机遇；在工业基础方面：中国的MEMS产业可以在现有的半导体工业基础改进发展，适当投入一些专有设备，不需要重复建设，既可以解决半导体产业中落后产能问题，为现有相当部分半导体企业开拓新的发展空间，又可以在较短时间内实现MEMS产业的较大发展。就芯片加工而言，大量存在的4、6、8寸硅片代工厂为发展中国的MEMS产业奠定了良好的工业基础，而美国由于早就将中低端硅片生产向中国转移，因此并不存在这样完备的具有梯次的加工体系。这是中国特有的MEMS工业发展优势。详细而言，与半导体不断按比例缩小特征尺寸的特点不同，MEMS产品在一定尺寸范围内，不需要不断缩小尺寸。这就意味着中国现在所谓的半导体“落后产能”可以在MEMS产业大放异彩。例如4寸硅片代工厂在半导体产业已经毫无竞争力，然而却很适合MEMS产业中“小批量，多品种”的高附加值的高端产品的开发。6寸硅片代工厂则适合大量的分立MEMS器件的开发，而8寸硅片代工厂则更适合集成MEMS器件的开发。就产品封装而言，国内现有大批技术相对落后的半导体封装厂，略加改造后，这些封装厂就很适合开发MEMS封装技术。  与半导体产业黄金“摩尔定律”不同，MEMS的黄金定律则为“一类产品线，一种制造工艺”。对半导体而言，做“脑细胞”的工艺是一样的，因此可以不断复制，而对MEMS而言，做眼睛的工艺很难来做鼻子，做鼻子的工艺很难来做耳朵。MEMS的目前这种制造工艺非标准化的特点就打算了现在没有一个公司掩盖全部市场，形成垄断地位。这样就留了足够的战略发展空间给中国的MEMS公司。  随着近几年MEMS市场的兴起，全球最大的几家半导体代工厂（例如台机电、联电）都已开头介入MEMS产业，除此之外，国内一些半导体代工大厂也已开头进入MEMS代工领域，如中芯国际、X市先进半导体等，这为国内MEMS芯片制造供应了很好的生产平台。  尽管中国的MEMS产业面临良好的发展机遇，但不容忽视的是，与国外MEMS产业界相比，目前国内MEMS产业的发展存在以下问题：  1、缺乏MEMS产业链的支持。国内要发展MEMS产业，则必需要象半导体产业那样建立从器件模型、模拟工具、制造加工到封装测试等完整产业链的支持。虽然目前国内有发展MEMS产业链良好的工业基础，但是由于代工厂以及封装厂对新兴MEMS产业的生疏，并没有开展相关MEMS业务。此外，代工厂以及封装厂也缺乏相关技术来源。上述因素导致中国在MEMS产业链方面的建设基本处于空白状态。  2、缺乏高端研发人员，与欧美发达国家相比，我们的研发水平相对较低，从基础研究上就处于落后地