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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112326630 A
(43)申请公布日 2021.02.05
(21)申请号 202110000543.3 B82Y 20/00 (2011.01)
B82Y 30/00 (2011.01)
(22)申请日 2021.01.04
B82Y 40/00 (2011.01)
(71)申请人 中国工程物理研究院激光聚变研究
中心
地址 621999 四川省绵阳市绵山路64号
(72)发明人 黄景林 杜凯 陈果 赵宗清
周民杰 温家星 魏来 曾勇
祁道健 何智兵 李波 李赜宇
赵松楠 乐玮 倪爽
(74)专利代理机构 中国工程物理研究院专利中
心 51210
代理人 张晓林
(51)Int.Cl.
G01N 21/65 (2006.01)
B82Y 15/00 (2011.01)
权利要求书1页 说明书4页 附图1页
(54)发明名称
一种用于新型冠状病毒检测的SERS芯片及
其制备方法
(57)摘要
本发明公开了一种用于新型冠状病毒检测
的SERS芯片及其制备方法,所述的SERS芯片为包
含基底及三明治前驱体的多层增强结构,所述的
方法包括步骤(1)采用磁控溅射技术首先在基底
上沉积三明治前驱体;步骤(2)对三明治前驱体
进行去合金化处理,获得SERS芯片。本发明制备
简单、成本低廉、无需引入表面活化剂、可大面积
均匀制备且能特异性捕获病毒颗粒,本发明避免
了合金体系在去合金化过程中宏观结构的坍塌,
实现了以Au含量仅1 5at.%的Au‑Ag合金作为前
~
驱体功能层,制备出具有不同沟道尺寸的SERS芯
A 片。本发明可应用于新冠病毒的现场快速检测领
0 域。
3
6
6
2
3
2
1
1
N
C
CN 112326630 A 权 利 要 求 书 1/1页
1.一种用于新型冠状病毒检测的SERS芯片,其特征在于,所述SERS芯片包含基底(1)及
形成于基底表面的三明治前驱体多层增强结构,其中,三明治前驱体多层增强结构体依次
由粘附层(2)、过渡层(3)以及表面功能层(4)组成,所述粘附层(2)形成于基底表面,过渡层
(3)用于连接粘附层与表面功能层,表面功能层(4)均匀分布有若干尺寸可调的纳米多孔金
簇以及簇与簇之间的纳米沟道,所述纳米多孔金簇内部分布有若干孔隙,纳米沟道尺寸可
调且与病毒颗粒尺寸相匹配;
所述粘附层(2)、过渡层(3)和表面功能层(4)的金含量逐渐减少,形成了从粘附层到过
渡层再到表面功能层的金原子浓度梯度,使粘附层与过渡层界面以及过渡层与表面功能层
界面处的金原子沿浓度梯度方向扩散。
2.如权利要求1所述的用于新型冠状病毒检测的SERS芯片,其特征在于,所述纳米沟道
尺寸范围为60nm 1200nm。~
3.如权利要求1所述的用于新型冠状病毒检测的SERS芯片,其特征在于,所述孔隙尺寸
为10 20纳米。~
4.如权利要求1所述的用于新型冠状病毒检测的SERS芯片,其特征在于,所述粘附层
(2)厚度为2050nm,包括铬薄膜层和金薄膜层,其中,铬薄膜层形成于基底表面,金薄膜层~
形成于铬薄膜层表面。
5.如权利要求1所述的用于新型冠状病毒检测的
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