中微公司深度研究报告-极者之道，先精后全.docx

? ? 中微公司深度研究报告 极者之道，先精后全 ? ? 一、公司介绍：追赶国际先进水平，打造国产半导体设备精品超市 1.1 全球半导体设备后起之秀，刻蚀设备、MOCVD设备等领域异军突起 中微公司是国内一流、国际知名的半导体微观加工设备公司。公司专注于集成电路、LED关键制造设备，核心产品包括： 1）用于集成电路领域等等离子体刻蚀设备（CCP、ICP）、深硅刻蚀设备（TSV）；2）用于LED芯片领域的MOCVD设备。刻蚀设 备业务与MOCVD设备业务二者相辅相成，公司以集成电路刻蚀设备起家，向LED领域横向延伸顺理成章，同时公司MOCVD设备已 主导氮化镓基LED国内市场，业务条线成熟，能够不断为公司发展半导体设备业务提供资金反哺。 1.2 老骥伏枥志在产业报国，白手起家一路攻坚克难 2004年8月，时年60岁的现任中微公司董事长尹志尧决定带领团队回国创业，在没有带回任何图纸和技术资料几乎赤手空 拳的情况下开启半导体设备国产化征程。在上海市政府及国开行的支持下顺利获得启动资金，迅速步入发展的快车道，很快 开发了65nm等离子体刻蚀机，其后逐步将设备做到45nm、32nm、28nm、16nm、7nm及5nm，并在业界首次开发了双反应台介质 刻蚀除胶一体机——将反应台介质等离子体刻蚀和光刻胶除胶反应腔整合在一个平台。2018年台积电5nm生产线确定的全球5 家刻蚀设备供应商中，中微