中微公司专题研究-国之重器，风禾尽起.docx

? ? 中微公司专题研究 国之重器，风禾尽起 ? ? 一、中微公司：半导体设备国产替代先锋 1、等离子体刻蚀设备龙头，MOCVD领军者 中微公司是国内半导体设备领军企业。公司成立于 2004 年，主要从事高端半导体设备及泛 半导体设备的研发、生产和销售。公司着眼于科技前沿，涉足半导体集成电路制造、先进封 装、LED 外延片生产、功率器件、MEMS 制造以及其他微观工艺的高端设备领域。公司主要 业务围绕刻蚀设备和 MOCVD 设备展开。公司的等离子体刻蚀设备已应用在国际一线客户从 65 纳米到 14 纳米、7 纳米和 5 纳米及其他先进的集成电路加工制造生产线及先进封装生产 线；MOCVD 设备在行业领先客户的生产线上大规模投入量产，公司已成为世界排名前列的 氮化镓基 LED 设备制造商，其市占率在 2018 年末已达到 60%以上。 瞄准世界科技前沿，创新贯穿公司发展始终。中微公司于 2007 年成功研制出首台 CCP 刻 蚀设备产品 Primo DRIE，并在随后年度不断加强 CCP 设备领域的产品研发，先后研发出四 台 CCP 设备，改进的 PrimoAD-RIE 于 2018 年成功进入 5nm 生产线；在 2010 年成功研制 出深硅刻蚀设备；2012 年成功研制出首台 MOCVD 设备，并于 2017 年初研制出 MOCVD 主力产品 Prismo A7，实现了该领域的