中微公司专题研究-刻蚀+MOCVD龙头，内生外延协同打造设备平台.docx

? ? 中微公司专题研究 刻蚀+MOCVD龙头，内生外延协同打造设备平台 ? ? 一、刻蚀+MOCVD 龙头，技术驱动对标前沿科技 1.1 专注高端半导体设备 国内领先、世界排名前列的半导体高端设备制造商。公司自成立以来主要从事半导体设备的研发、生产和销售。公司以中国为基地，为全世界提供高端半导体微观加工设备。 主营业务为开发大型真空微观器件工艺设备，主要产品是刻蚀设备和 MOCVD 。刻蚀机用于半导体制程，客户涵盖台积电、中芯国际、海力士、华力微、联华电子、长江存储等； MOCVD 用于 LED 外延片制程，客户涵盖三安光电、华灿光电、乾照光电等。 技术更新迭代贯穿公司发展的各个阶段。公司 2004 年在张江高科科技园区启动运营， 以瞄准世界科技前沿，坚持自主创新为理念，不断推出先进半导体设备产品。2007 年， 公司推出首台 CCP 刻蚀设备，2012 年，首台 MOCVD 设备产品 Prismo D-Blue 研制成功，2018 年开始改进 Primo AD -RIE 并进入 5nm 生产线。公司产品在国际具有较高认可度，2019 年 5 月，中微公司在全球晶圆制造设备供应商中排名第三，在十大芯片制造 设备专业型供应商和专用芯片制造设备供应商中均位列第二。中微公司已经连续两年成为其中唯一一家中国本土的半导体设备公司。 内生外延，高端半导体制程新版图未来可期。目前，公司从三个