匀胶工作原理.pdfVIP

1.匀胶工作原理 一个典型的匀胶过程包括滴胶 ,高速旋转以及干燥 (溶剂 挥发 )几个步骤。滴胶这一步把光刻胶滴注到基片表面上， 高速旋转把光刻胶铺展到基片上形成簿层， 干燥这一步除去胶层中多余的溶剂。两种常用的滴胶方式是静态滴胶和动态滴胶。 静态滴胶就是简单地把光刻胶滴注到静止的基片表面的中心， 滴胶量为 1-10ml 不等。 滴胶的 多少应根据光刻胶的粘度和基片的大小来确定。粘度比较高和 / 或基片比较大，往往需要滴较多的胶， 以保证在高速旋转阶段整个基片上都涂到胶。动态滴胶方式是在基片低速（通常在 500转/ 分左右）旋 转的同时进行滴胶， “动态 ”的作用是让光刻胶容易在基片上铺展开，减少光刻胶的浪费， 采用动态滴 胶不需要很多光刻胶就能润湿 （铺展覆盖）整个基片表面。尤其是当光刻胶或基片本身润湿性不好的 情况下，动态滴胶尤其适用，不会产生针孔。 滴胶之后，下一步是高速旋转。 使光刻胶层变薄达到最终要求的膜厚，这个阶段的转速一般 在 1500-6000转/分，转速的选定同样要看光刻胶的性能（包括粘度，溶剂挥发速度，固体含量以及表 面张力等）以及基片的大小。快速旋转的时间可以从 10秒到几分钟。 匀胶的转速以及匀胶时间往往能 决定最终胶膜的厚度。 一般来说，匀胶转速快， 时间长， 膜厚就薄。影响匀胶过程的可变因素很多，这些因素在匀 胶时往往相互抵销并趋于平衡。所以最好给予匀胶过程以足够的时间，让诸多影响因素达到平衡。 匀胶工艺中最重要的一个因素就是可重复性。 微细的工艺参数变化会带来薄膜特性巨大的差 异，下面对一些可变的因素进行分析： 2.旋转速度 匀胶转速是匀胶过程中最重要的因素。 基片的转速 （rpm） 不仅影响到作用于光刻胶的离心力， 而且还关系到紧挨着基片表面空气的特有湍动和基片与空气的相 对运动速度。光刻胶的最终膜厚通常都由匀胶转速所决定。尤其在高速旋转这个阶段，转速 ±50rpm 这样微小变化就能造成最终膜厚产生 10%的偏差。 膜厚在很大程度上是作用于液体光刻胶上﹑方向朝基片边缘的剪刀力与影响光刻胶粘度的 干燥（溶剂挥发）速率之间平衡的结果。随着光刻胶中溶剂不断挥发，粘度越来越大，直到基片旋转 作用于光刻胶的离心力不再能使光刻胶在基片表面移动。 到这个点上， 胶膜厚度不会随匀胶时间延长 ? 而变薄。所有 Cee 匀胶机规格要求在量程范围内无论选择哪个速度匀胶转速偏差不大于 ±1rpm。而通 常实际偏差是 ±0.2rpm。而且，所有的控制程序和转速显示的分辨能力都是 1rpm。 3.加速度 匀胶过程中基片的加速度也会对胶膜的性能产生影响。 因为在基片旋转的第一阶段， 光刻胶 就开始干燥（溶剂挥发）了。所以精确控制加速度很重要。在一些匀胶过程中，光刻胶中 50%的溶剂 就在匀胶过程开始的几秒钟内挥发掉了。 在已经光刻有图形的基片上匀胶， 加速度对胶膜质量同样起 重要作用。在许多情况下，基片上已经由前面工序留下来的精细图形。因此，在这样的基片上穿越这 些图形均匀涂胶是重要的。匀胶过程总是对光刻胶产生离心力，而恰恰是加速度对光刻胶产生扭力 （twisting force ）,这个扭力使光刻胶在已有图形的周围散开，这样就可能以另一种方式用光刻胶覆盖 ? 基片上有图形的部分。 Cee 匀胶机的加速度可以设定，精度 1rpm/秒。在操作时，电机以线性跃升加