第一章真空亩镀膜绪论.pptVIP

1.3 真空镀膜技术的分类Classification of vacuum coating technology 1)物理气相沉积 Physical Vapor Deposition — PVD （1）??? 蒸发镀膜 Evaporation Deposition 加热膜材使其汽化，加热源为条件 （2）??? 溅射镀膜 Sputtering Deposition 正离子轰击膜材使其溅射，气体放电为条件 （3）??? 离子镀膜 Ion Coating 二者结合，汽化的膜材粒子离化为条件 (4) 离子束沉积Ion Beam Deposition 束流沉积，膜材为离子束，离子束源为条件 2)化学气相沉积 Chemical Vapor Deposition — CVD 低压化学气相沉积 Low Pressure Chemical Vapor Deposition —LPCVD （1）热化学气相沉积 Heat CVD H-CVD （2）光化学气相沉积 Light CVD L-CVD Laser CVD （3）等离子体化学气相沉积 Plasma CVD P-CVD （4）微波化学气相沉积 Microwave CVD M-CVD 3)物理化学气相沉积 Physical-Chemical Vapor Deposition — P-CVD （区分） 各种方法的对比，详见P2 表1-1，P3表1-2 1.4 薄膜的应用Application of thin film 参见P4表1-3 1)光学薄膜 反射膜：平面镜，玻璃镜以铝代银；聚光镜：手电筒灯碗，汽车前灯，聚光灯 透射镜：减反增透膜，所有光学镜片，激光器砷化镓透射光窗 多层折射、衍射、干涉膜：冷光源灯碗 智能窗： 2）装饰膜 由于主要是镀表面反射膜，所以有些厂家也将用于镀装饰膜的镀膜机称为光学镀膜机。 小件工艺品：石膏大马，金属丝帆船，服装饰品，假金戒子、金首饰，灯具构件 手表： 表壳 表带TiN 纯金 建筑装饰品 小五金构件：门把手，门锁，墙壁装饰件 建筑玻璃：彩膜，热反射膜玻璃 金属装饰板：抱柱板（金色不锈钢板），金水桥、纪念碑四周栏杆、链条 石膏、水泥装饰件的金属化处理 4）塑料制品的金属化 将塑料制品（强度已足够）处理得外观象金属 汽车前后保险杠，车标，各种机器铭牌，塑料玩具 5）卷绕镀膜 大面积长薄带状材料上沉积薄膜 纸张镀铝膜（香烟保湿纸） 塑料薄膜上镀膜：包装袋，磁带，工业电力电容器 6）电子工业 基本器件：早期—各种电子管、薄膜电阻，电容 中期—半导体器件 二极管、三极管 后期—大规模集成电路 半导体加工基本技术：（电子产品60%的设备是真空设备，镀膜工艺比比皆是） 成膜，溅射，刻蚀，离子注入，掺杂，外延生长 7）机械工业 硬膜：高硬度、耐磨 TiN、TiC、WC、（类）金刚石膜，用于机械加工刀具 软膜：自润滑高级无润滑轴承（坦克、自行火炮用的活塞曲轴轴承）