XPS分峰的分析实例.docx

材料Ｘ射线光电子能谱数据处理及分峰的分析实例 例： 将剂量为 1107 ions/cm 2， 能量为 45KeV的碳离子注入单晶硅中， 然后在 1100C退火 2h 进行热处理。对单晶硅试样进行 XPS测试，试对其中的 C1s 高分辨扫瞄谱进行解析， 以确定各种可能存在的官能团。 分析过程： 1、在 Origin 中处理数据 图 1 将实验数据用记事本打开，其中 C1s 表示的是 C1s 电子，表示起始结合能，表示结 合能递减步长， 81表示数据个数。从 15842 开始表示是光电子强度。从 15842 以下数 据选中 Copy 到 Excel 软件 B 列中， 为光电子强度数据列。 同时将到 Excel 软件 A 列中， 并按照步长及个数生成结合能数据，见图 2 图 2 将生成的数据导入 Origin 软件中，见图 3。 图 3 此时以结合能作为横坐标，光电子强度作为纵坐标，绘出 有尖峰， 如果有， 那是脉冲， 应把它们去掉， 方法为点 Origin C1s 谱图，检查谱图是否 软件中的 Data-Move Data Points ，然后按键盘上的或箭头去除脉冲。本例中的实验数据没有脉冲，无需进行此 项工作。将 column A 和 B 中的值复制到一空的记事本文档中（即成两列的格式，左边 为结合能，右边为峰强），并存盘，见图 4。 图 4 2、打开 XPS Peak， 引入数据 ：点 Data--Import 相应的 XPS谱图，见图 5、图 6 (ASCII) ，引入所存数据，则出现 3、选择本底：点 Background，因软件问题， High BE和 LowBE的位置最好不改， 否则无法再回到 Origin ，此时本底将连接这两点， Type 可据实际情况选择，一般 选择 Shirley 类型，见图 7。 图 7 4、加峰： 点 Addpeak，出现小框，在 Peak Type 处选择 s 、 p、d、f 等峰类型（一般选 s）， 在 Position 处选择希望的峰位，需固定时则点 fix 前小方框，同法还可选半峰宽 （FWH）M、峰面积等。 各项中的 constraints 可用来固定此峰与另一峰的关系。 点 Delete peak可去掉此峰。然后再点 Add peak 选第二个峰，如此重复。 在选择初始峰位时，如果有前人做过相似的实验，可以查到相应价键对应的峰位 最好。但是如果这种实验方法比较新，前人没有做过相似的，就先用标准的峰位为初 始值。最优化所有的峰位，然后看峰位位置的变化。 本例中加了三个峰， C元素注入单晶硅后可能形成 C-C、C-Si 和 C-H三个价键。 根 据这三个价键对应的结合能确定其初始峰位，然后添加。具体过程见图 8、 9、 10。 图 8 图 9 图 10 5、拟合。选好所需拟合的峰个数及大致参数后，点 拟合后总峰与原始峰的重合情况，如不好，可以多次点 果见图 11。 图 11 6、参数查看。拟合完成后，分别点另一个窗口中的 Optimise region 进行拟合，观察 Optimise region 。最终拟合结 Rigion Peaks 下方的 0、 1、 2 等 可看每个峰的参数， 此时 XPS峰中变红的为被选中的峰。 如对拟合结果不 region 满意， 可改变这些峰的参数，然后再点 Optimise 。 7、点击 Save XPS存图，下回要打开时点 Open XPS就可以打开这副图继续进行处理。 8、数据输出。 点击 Data――Print with peak parameters ，可打印带各峰参数的谱图，通过峰 面积可计算此元素在不同峰位的化学态的含量比。 点击 Data――Export to clipboard ，则将图和数据都复制到了剪贴板上，打开 文档（如 Word文档），点粘贴，就把图和数据粘贴过去了。 点击 Data――Export （spectrum ），则将拟合好的数据存盘，然后在 Origin 中 从多列数据栏打开，则可得多列数据，并在 Origin 中作出拟合后的图。 X X 轴步长 XPS能谱数据处理 王 博 吕 晋 军 齐 尚 奎 能谱数据转化成 ASC码文件后可以用 EXCE ORIGIN等软件进行处理。这篇 文章的目的是向大家介绍用 下面将分三部分介绍