气体放电和低温等离子体讲课文档.pptVIP

电子与正离子的二体复合一般情况下不可能发生。 三体碰撞复合中的第三物体可以是不断碰撞器壁的离子，也可以是气体原子等。气体原子参与三体碰撞的过程的几率随着压力的增加而增大。 * 干燥气体通常是良好的绝缘体，但当气体中存在自由带电粒子时，它就气体放电变为电的导体。这时如在气体中安置两个电极并加上电压，就有电流通过气体，这个现象称为气体放电。依气体压力、施加电压、电极形状、电源频率的不同，气体放电有多种多样的形式。主要的形式有暗放电、辉光放电[1]??、电弧放电[2]??、电晕放电[3]??、火花放电[4]??、高频放电等。20世纪70年代以来激光导引放电、电子束维持放电等新的放电形式，也日益受到人们的重视。 气体放电的基本物理过程 　气体放电总的过程由一些基本过程构成，这些基本过程是：激发、电离、消电离、迁移、扩散等。基本过程的相互制约决定放电的具体形式和性状。 * 气体介质在电场作用下发生碰撞电离而导致电极间贯穿性放电的现象。气体介质击穿与很多因素有关，其中主要的影响因素为作用电压、电极形状、气体的性质及状态等。气体介质击穿常见的有直流电压击穿、工频电压击穿、冲击电压击穿、高气压电击穿、高真空电击穿、负电性气体击穿。 * Pd较小时，即压强过低或者电极间距很小时，阴极发射的二次电子与气体分子没有发生碰撞就到达阳极，电离效率低，击穿电压较高。 如果压强过高，电子与气体分子碰撞频繁而损失了能量，电子在两次碰撞之间难以积累起足够使气体分子电离的能量，因此，击穿电压增大。 只有在适当的Pd乘积下，气体放电的击穿电压才最低。 * 气体介质在不均匀电场中的局部自持放电。最常见的一种气体放电形式。在曲率半径很小的尖端电极附近，由于局部电场强度超过气体的电离场强，使气体发生电离和激励 ，因而出现电晕放电引。发生电晕时在电极周围可以看到光亮 ，并伴有咝咝声。电晕放电可以是相对稳定的放电形式，也可以是不均匀电场间隙击穿过程中的早期发展阶 * 闪电、极光是等离子体。日光灯、霓虹灯内电离气体也是等离子体。地球上空的电离层是低温等离子体，太阳和所有的恒星是高温等离子体。浩瀚的星际空间也是以等离子体的状态存在的。 * 溅射、等离子体化学气相沉积、脉冲激光化学气相沉积等都是在等离子体中实现薄膜沉积的。等离子体的基本知识是薄膜材料制备的基础之一。 等离子体中，除了离子、电子之外，还有处于激发态的原子、分子以及由分子解离而形成的活性基。此外，被激发原子和分子返回基态的过程（回复）中，会产生原子固有的光。同时，在等离子体中或反应器壁上，也不断发生着离子与电子的复合。 等离子体处于上述电离与复合的平衡状态。 * 等离子体可以通过气体放电的方法形成。将两个金属电极封装在玻璃管内，用真空泵将气压降到13—133Pa，然后在两个电极间加 直流电压，当电压缓慢升到数百伏特，管内的气体开始导电，电流急剧增大，放电管内发出橙红色的光，气体中部分的中性分子被 电离成离子和电子而具有导电性能。这种电离的气体就叫做等离子体。 * 等离子体的能量状态用几种温度表示，说明等离子体中各种粒子间没有达到热平衡状态，这是因为同类粒子之间的碰撞更频繁。 也就是说同类粒子之间更容易达到热平衡。例如电子和电子之间的碰撞频率远大于电子和离子之间的碰撞频率。在低温等离子体中， 电子的温度要比离子温度高上千倍。这种等离子体被称为非平衡态等离子体。 离子与其他粒子（分子、原子）因弹性碰撞而交换的动能大，而电子与其他粒子（分子、原子）因弹性碰撞而交换的动能小。在低气压下，由于单位时间的碰撞次数少，因此电子的平均动能大，质量大的其他重粒子平均动能小。 这样电子的平均动能大、其他重粒子的平均动能小。 * 处于热平衡状态的气体的密度分布，从宏观看是一样的，但从微观角度看并不一样，会产生密度分布的起伏。 假定等离子体中电子相对于离子发生位移，则某处的电子密度变大，而另一处的离子密度变大，在等离子体空间会形成电场。 这时电子会在该电场的库仑力的作用下向回运动。但是由于惯性，电子会越过平衡位置，又会再次受到反方向的库仑力作用，因此 电子将以某个特征频率围绕着平衡位置振荡，叫做等离子体振荡。 * 我们知道，当电荷靠近一个金属导体时会产生静电感应现象，这时电荷向导体表面移动而使导体内部的电场为零。等离子体是导体，它也有类似的性质，在一定的空间尺度内可以屏蔽电场，或者说等离子体中带电粒子的库仑力作用范围是有限的。这个限度可以用德拜长度表示。 上图中表示一个正离子，在正离子产生的库仑电场范围内，分布有密度更高的电子。这些电子因受离子电场的作用力，从而对 电场产生屏蔽作用。 日光灯中辉光放电等离子体的德拜长度是0.01mm左右，而宇宙空间等离子体的德拜长度大致在2-30m范围内。 * 在电子上的作用力指向等