《气象微纳电子技术》课程教学大纲.docVIP

气象微纳电子技术 Micro and Nano Electronics for Meteorology 一、课程基本情况 课程类别：专业任选课 课程学分： 2 学分 课程总学时： 32 学时，其中讲课：32 学时，实验：0学时，上机：0学时，实习0学时，课外0学时 课程性质：选修 开课学期：第7学期 先修课程：模拟电子线路，半导体物理 适用专业：电子科学与技术，电子信息工程，气象探测 教 材：自编英文讲义（中英文双语教学） 开课单位：电子与信息工程学院 电子科学与技术系 二、课程性质、教学目标和任务 气象微纳电子学是面向电子与信息工程学院电子科学与技术专业和其他相关方向本科生所开设的一门高年级专业选修课。该课程开设的主要目的是使学生了解基于微电子机械系统（MEMS）、纳米机电系统（NEMS）技术的传感器的基本工作原理、设计方法、数值仿真仿真、微纳加工工艺等知识，并使学生了解其在气象探测和环境监测等领域的应用，同时该课程还可使学生理解在气象领域应用的数字与模拟集成电路的设计、加工和封装技术。通过该课程的学习，学生可初步掌握设计微米、纳米尺度的气象传感器的方法。课程的重点包括微电子集成电路的器件原理、超大规模集成电路原理、集成电路封装技术、MEMS与NEMS原理、典型MEMS加工工艺、MEMS传感器在气象探测等领域的应用等。课程难度适中，适用于高年级本科生。 三、教学内容和要