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《膜材料与膜技术》教学大纲 课程编号 100093201 课程名称: 膜材料与膜技术 高等教育层次： 本科 课程在培养方案中的地位： 课程性质：选修 对应于电子封装技术专业专业；属于：BZ专业课程基本模块 开课学年及学期 非强制 先修课程（a必须先修且考试通过的课程，b必须先修过的课程，c 建议先修的课程） b材料科学基础，微电子制造工艺基础 课程总学分：2.0，总学时:32； 课程教学形式：0普通课程 课程教学目标与教学效果评价 课程教学目标（给出知识能力素养各方面的的具体教学结果）(必填) 教学效果评价 不及格 及格，中 良 优 1.知悉和理解膜材料与膜技术中的基础理论 完全不知道， 对膜材料与膜技术的基础理论有碎片化的理解 1.对膜材料与膜技术主要内容，薄膜生长核心过程能理解，但不完整 1.对膜材料与膜技术主要内容，薄膜生长核心过程能完整理解，但不系统，存在断点。 1.对膜材料与膜技术主要内容，薄膜生长核心过程能完整系统地理解 2. 知悉和理解物理气相沉积、化学气相沉积的原理与方法，薄膜的成核、生长过程理论以及薄膜的结构和缺陷 完全不知道， 对物理气相沉积、化学气相沉积原理与方法，薄膜的成核、生长过程理论以及薄膜的结构和缺陷，有碎片化的理解 1.对物理气相沉积、化学气相沉积过程原理与方法，薄膜的成核、生长过程理论以及薄膜的结构和缺陷主要内容，核心过程能理解，但不完整 1.对物理气相沉积、化学气相沉积过程原理与方法，薄膜的成核、生长过程理论以及薄膜的结构和缺陷主要内容，核心过程能完整理解，但不系统，存在断点。 1.对物理气相沉积、化学气相沉积过程，薄膜的成核、生长过程理论以及薄膜的结构和缺陷原理与方法主要内容，核心过程能完整系统地理解 3. 拥有根据所掌握的薄膜制备技术与理论，针对各种需求提出相应的现代薄膜制备方案，具有分析薄膜制备方案可行性及可能影响因素的能力，形成先进薄膜材料设计与分析的思维模式； 1.完全没能力根据所掌握的薄膜材料制备技术与理论，针对各种社会需求提出相应的先进薄膜材料制备方案，完全不能分析薄膜材料制备方案可行性及可能影响因素问题； 2.具有零碎的现代薄膜设计与分析的概念。 2.整体上拥有根据所掌握的薄膜制备技术与理论，针对各种社会需求提出相应的先进薄膜材料制备方案，具有分析薄膜材料制备方案可行性及可能影响因素的能力，整体上形成了先进薄膜材料设计与分析思维模式，但缺乏系统性。 2.整体上拥有根据所掌握的薄膜材料制备技术与理论，针对各种社会需求提出相应的先进薄膜材料制备方案，分析薄膜材料制备方案可行性及可能影响因素的能力，整体上形成了先进薄膜材料设计与分析的思维模式，有一定的系统性，但系统性方面存在断点。 2. 拥有根据所掌握的薄膜材料制备技术与理论，针对各种社会需求提出相应的先进薄膜材料制备方案，分析薄膜材料制备方案可行性及可能影响因素的能力，形成了先进薄膜材料设计与分析的思维模式。 课程教学目标与所支撑的毕业要求对应关系 毕业要求（指标点）编号 毕业要求（指标点）内容 课程教学目标（给出知识能力素养各方面的的具体教学结果） 1.4 4.2 1.将电子封装和电子制造知识运用于实际工程（如制造、材料、工艺、测试以及失效分析等）问题的解释、分析，提出解决方案； 2.熟悉电子封装和电子制造中相关器件、组件的结构和作用原理，具备对电子封装材料与结构、电子制造和封装工艺方案设计、实验过程及工艺流程设计、相关材料选取、性能测试以及可靠性分析的能力，并能够对实验结果进行分析 1.知悉和理解薄膜材料制备方法基础理论； 2. . 知悉和理解物理气相沉积、化学气相沉积制备原理与方法，薄膜成核过程及微观结构的形成； 3. 拥有根据所掌握的薄膜制备技术与理论，针对各种需求提出相应的现代薄膜制备方案，具有分析薄膜制备方案可行性及可能影响因素的能力，形成先进薄膜材料设计与分析的思维模式； 教学内容、学时分配、与进度安排 教学内容 学时分配 所支撑的课程教学目标 教学方法与策略（可结合教学形式描述）（选填） 第一章 绪 论 1.1膜材料与膜技术简介 1.2 真空技术基础 4 1,2，3 讲授、课堂讨论，应用图片展示，辅助网络课程资源补充相关拓展知识。 第二章 薄膜材料制备的真空蒸发法 2.1 元素的热蒸发 2.2 化合物与合金的热蒸发 2．3 热蒸发技术 6 1,2，3 讲授，提问，及视频展示 第三章 溅射法制备薄膜 3.1 气体放电现象与等离子体 3.2物质的溅射效应与溅射产额 3．3各种溅射技术 6 1,2，3 讲授，课堂讨论、视频展示及辅助网络课程资源补充相关拓展知识。 第四章 化学气相沉积技术 4.1 CVD过程热力学