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《薄膜物理》课程教学大纲 一、中文课程简介（含课程名、课程编号、学分、总学时、课程内容概要等内容） 课程名：薄膜物理 课程编号：0702062020 学分：3 学时：48 课程内容概要：薄膜材料最基本的几种制备、表征方法，最基本的薄膜生长理论以及一些典型的薄膜材料应用实例。 二、英文课程简介（含课程名、课程编号、学分、总学时、课程内容概要等内容） Course title: thin film physics Course number: 0702062020 Credit: 3/48 hours Description of course content: the most basic preparation and characterization methods of thin film materials, the most basic theory of thin film growth and some typical application examples of thin film materials. 教学目标 授课对象：研二上学期 通过本门课程的学习，可以初步掌握薄膜材料的实验技术、制备方法和生长理论。为从事薄膜材料方面研究工作的同学打下良好的基础。 教学内容 第一章：薄膜材料的制备（18学时） 真空技术基础 真空系统、各种常用的真空泵、真空测量 蒸发法及磁控溅射原理 物质的热蒸发过程，辉光放电、物质的溅射现象 薄膜制备方法 结合实验室具体设备讲解，使学生通过学习能够独立完成操作过程（蒸镀系统、磁控溅射系统） 第二章：薄膜的表征（18学时） 2.1 薄膜的生长理论 薄膜的生长过程简介，形核理论（自发、非自发），薄膜生长动力学 2.2 薄膜中的缺陷 点缺陷，位错和层错、晶界、外延生长导致的各种缺陷、扩散现象 2.3 薄膜的表征方法 测厚技术，结构表征（X光衍射、电子显微镜、XPS等），成分分析（俄歇电子能谱、气相色谱） 2.4 薄膜的表面和界面 第三章：磁性薄膜材料的种类及物性（6学时） 3.1 AMR薄膜的种类及性质 3.2 GMR薄膜的种类及性质 多层膜、自旋阀等常见薄膜材料 第四章：磁性薄膜材料的应用简介（6学时） 磁性薄膜的微加工技术（离子束刻蚀、化学腐蚀），磁传感器，磁光存储 五、课程考核 笔试 六、教材及参考资料 【薄膜生长】 吴自勤、王兵 著 科学出版社 【薄膜材料制备原理、技术及应用】 唐伟忠 著 冶金工业出版社 【薄膜科学与技术手册】上、下册 田民波、刘德令 编译 机械工业出版社