铸锭车间SOP培训教材.pptVIP

紧急停炉开关，禁止触摸 第二十六页，共七十二页。 刚出炉，注意高温 戴好高温手套 第二十七页，共七十二页。 DSS炉系统概貌 操作及制程原理 经过Si3N4涂层处理的坩埚里装满多晶硅，并放置在一个大的导热石墨块 (定向凝固块或DS-Block)上。 密闭长晶炉且抽成真空，然后加热数小时以完全熔解多晶硅。石墨加热器包围在坩埚的四个垂直面上，一隔热笼包围住加热器、DS-Block及坩埚。此隔热笼的垂直边可以上下移动，暴露出DS-Block，允许热能以辐射方式散发至通冷却水的下部炉壁。DS-Block的温度下降会传至坩埚底部，使坩埚内的硅溶液有垂直的温度梯度，此温度梯度会使硅在坩埚的底部凝固，然后硅晶从底部向顶部生长。当所有的硅液都固化之后，铸锭需经过退火并按设计好的冷却方式进行冷却，以避免裂缝及消除应力。 第二十八页，共七十二页。 DSS炉系统概貌 系统硬件 系统是由双层且有冷却水通过的不锈钢炉体、电源供应系统、真空泵系统、控制柜及操作面板所组成。炉体内包含石墨热场及隔热元件，一个梯子的平台包围在炉体的周围，供操作者及维修人员进入。此平台亦可放置变压器及将电缆设施等水管、线整齐地布置于平台的夹板下。 第二十九页，共七十二页。 DSS炉系统概貌 炉体