传感器课件：磁电阻式传感器（MR传感器）.pptVIP

A1 A3 A4 A2 B1 B3 B4 B2 Vi V01 V02 N S S N N N A1 B2 B4 B3 B1 A3 A2 A4 N S S N S N S S S N N N N S S N N N A1 B2 B4 B3 B1 A3 A2 A4 W很小 A1 A4 A3 A2 B1 B4 B3 B2 Vi V01 V02 N S S N S N S S S N N N RD RB RA RC 2 1 3 4 由磁栅传感器一章可知，利用录磁技术可以在旋转体上刻制出高精度的磁信号，磁栅距可以通过调整性园盘的转速来改变。所以说密集磁信号的录制是不成问题的。下面分析一种具有辨向功能并能精度测量角度位移的MR角度传感器。将园磁栅展开成如图所示的磁极分布，四个MR元件两两相隔　 排列，R1、R2、R3、R4接成如图所示的电桥形式。V1、V2输出表示式为 N S S N S N S S S N N N VS R1 R4 R3 R2 V1 V2 ? ● VS R1 R4 R3 R2 V1 V2 线条宽度 薄膜厚度 N S N S 1 4 2 3 1.三端MR元件的电源电压为12伏，若需要输出振幅大于70mv的正弦信号，此时构成MR元件的材料的 至少应为多少？构成四端MR元件的材料的 =5%，当电源电压为6V时，四端MR元件输出电压振幅为多少？ 2.构成MR元件的磁性薄膜材料通常是什么材料？它们的各向异性磁电阻系数 最大值分别为多少？ 3.如图所示的MR元件是一种具有辨向功能的四端结构形式。问图中黑色部分通常采用什么材料？白色部分通常采用什么材料？为使其具有辨向功能，电源应加在哪二端？输出应在哪二端？ 4.叙述利用MR元件测量压力的基本原理。用文字展开MR传感器PPt中60/69的内容。 5、对题3给出的具有辩向功能的四端MR传感器，分别写出将电源电压加在2、4端，从1、3端输出；电源电压加在1、3端，从2、4端输出的表示式。 基 片 金 属 光 刻 胶 显影液 基 片 金 属 光刻 胶 ＋ 受到光照的地方胶被溶化 显影液 腐蚀、去胶 已知金属图形和光刻板，求光刻胶的类型 金属图形 玻璃基片 遮光部分 透光部分 玻璃基片 金属膜 五、MR传感器的输出电路 V V0 V V0 V V0 R R （一）. 恒压源供电时电桥的输出 US （二）. 恒流源供时电桥的输出 I0 I0 I0 3、电桥输出电路 恒压源供电电路如图所示 据以前的分析有 当没有温度影响或不考虑温度影响时， 固态压阻式传感器 US 电桥的两个支路的电阻相等 即有 由此可得输出电压为 固态压阻式传感器 I0 I0 I0 （三）外加偏置磁场 由于MR元件的倍频特性，外场方向的变化和输出之间不存在一一对应的关系，若磁场方向变化180°，而MR元件的输出电压却变化了360°。MR元件的倍频特性对于作转速传感器应用时，可以提高测量灵敏度，但在检测信号的反转时，MR元件不能单独使用。采用偏磁场的方法可以解决这个问题，下面简单介绍一下外加偏磁场的方法。 如何获得开关特性 N S N S HX -HX HB HX HB Ht N S -HX HB Ht （四）能辨判旋转方向的MR元件 ● A B C D A B C D E 被测量基本属性：大小、方向 大小：输出电量的幅值 方向：辨向电路 辨向电路：要求输入两路相位相差90°的信号 1 2 2003级马韬同学友情提供 RD RB RA RC 2 1 3 4 1 RA RB RC RD 3 2 4 对这种具有辨向功能的四端MR元件的使用需要注意的是，电源电压必须正确的施加。上式的导出是在电源电压如图所示的方法施加情况下的结果。如果电源电压接在RB、RC和RA、RD的交点处，该电路就不具有辨向功能了，这一点必须充分注意。和普通四端MR元件不同，普通四通MR元件不管电源电压加在哪二点，输出电压始终为一无直流分量的倍频信号电压。 RD RB RA RC 2 1 3 4 U2 U4 US RA RD RB RC 六、传感器的应用 MR元件主要是依据对磁场的方向敏感即信号磁场方向的改变，MR元件的阻值亦相应地改变而适用于各种应用。 非电量作用 MR元件面内磁场方向变化 MR效应 电量输出 ● 1. 测转速 MR元件测量旋转转速的装置如所示。 将磁体固定在旋转体上，并使MR元件的平面平行于磁场方向。当旋转体时，磁体随着转动。即磁场方向随着旋转体不断的发生改变。当旋转体一周，由于MR元件的倍频特性，输出信号变化二周，经放大，整形产生两个电压脉冲。此