半导体物理 Semiconductor Physics 这时,非平衡载流子浓度在样品内呈线性分布。 半导体物理 Semiconductor Physics 其浓度梯度为 扩散流密度为 扩散流密度是一个常数,意味着非平衡载流子在样品中没有复合 半导体物理 Semiconductor Physics 对于电子来讲,是类似的 扩散定律: 稳态扩散方程: 半导体物理 Semiconductor Physics 因为电子和空穴都是带电粒子,它们的扩散必然导致扩散电流,相应的扩散电流密度 半导体物理 Semiconductor Physics 对于三维情况来讲,是类似的 扩散定律: 稳态扩散方程: 的扩散电流密度 半导体物理 Semiconductor Physics 对于点注入来讲,是类似的 对于点注入如探针注入,探针尖陷入半导体表面形成半径r0的半球,非平衡载流子浓度只是径距r的函数,相应公式采用球坐标表示。 半导体物理 Semiconductor Physics 稳态扩散方程: 令 根据r0处的边界条件,可确定系数 半导体物理 Semiconductor Physics 边界r0处的扩散流密度 与前面相比,多了Dp/r0一项,扩散效率比平面情况高,原因是很明显的 当r0 Lp时,几何形状引起的扩散的效果是显著的 Thanks
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