《半导体平面工艺实验》课程教学大纲（模板）.pdfVIP

《半导体平面工艺实验》课程教学大纲 一、 课程简介 课程中文名 半导体平面工艺实验 课程英文名 Experiments of Semiconductor Planar Processes 课程代码 083P26A 课程学分 1 总学时数 34 □通识课程 □线上 □学科基础课 □必修 线下 课程类别 □专业课 课程性质 选修 课程形态 □线上线下混 实验实践课 □其他 合 □其他 □其他 □闭卷 □开卷 □一页开卷 □面试 □口试 □答辩 考核方式 □论文 报告 □大型作业 □课程作品 □其他 开课基层教 开课学院 物理科学与技术学院 微电子系 学组织 面向专业 微电子科学与工程等 开课学期 3.2 学期 课程负责人 审核人 集成电路工艺原理、模拟电路与实验，数字电路与实验，半导体物理与器 先修课程 件 后续课程 无 课程网址 无 本课程具有较强的实践指导意义。通过一系列的集成电路工 艺实验教学环节，培养学生独立完成集成电路制造、半导体工艺 参数测试分析等方面的实践动手能力，巩固和强化现代微电子技 课程简介 术相关知识，充分掌握集成电路芯片的制造过程，提升学生在微 电子技术领域的竞争力，培养学生灵活运用理论知识解决实际问 题的能力，锻炼学生分析、探讨和总结实验结果的能力，为以后 从事集成电路制造工作打下扎实的理论和实践基础。 （英文） 二、 课程目标 《半导体平面工艺实验》的课程内容设置，对实验课课堂教学中的理论和实 际教学方法进行了探讨，引导学生以科技论文形式完成专业实验课实验报告的创 新教学思路。平面工艺是制造半导体器件合集成电路的主要方法，它对半导体器 件迅速取代较老的电子学元件，并深入到电子学应用的崭新领域做出了重要贡献。 同 ，引导学生树立投身科学研究和技术创新的远大理想，激发学生强烈的使命 感和责任心。 表 1 课程目标 序号 具体课程目标 课程目标 1 随着集成电路产业高速发展，对人才的需求也不断增加，既需要高水平的 IC 设计人员，也需要从事一线生产的 IC 制造专业技术人才。本课程有助于培养 技能型应用人才，引导学生树立投身科学研究和技术创新的远大理想，激发学