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真空泵的清理及泵油更换适用范围适用于真空泵的清扫及泵油更换作业作业顺序1/30 1放油 1准备好专用工具及纸巾置于就近位置 2关闭主泵球阀 3将废油桶置于真空泵放油口下方，打开上腔放油开关，取下泵尾气管。 4堵严尾气口，缓慢打开下腔放油阀，使之缓慢进气进行快速放油，废油倒入指定油池。 5放完油后关闭上下腔放油阀，关闭真空泵，断开真空泵对应的空气开关。 注意事项及原由 1确认关闭真空泵是否关闭到位，否则会造成炉内返气。 2放油时应靠下拉放油阀，调解泵腔压力，以免泵腔内压力过大，尾气口关闭不严，使油烟外泄扩散到泵房。 3切记关闭上下腔的放油阀，防止漏油。 4处理废油时注意泵房卫生。 5断开真空泵控制开关并在操作柜挂上警示牌，防止他人不慎触动真空泵开启按钮，造成人身伤害。 6出现异常立刻处理，并报告班长或主任。 2清泵 1用工具打开真空泵侧盖，置于适当位置。 2用纸巾彻底清理真空泵腔，及侧盖的油污。 3清扫完毕，安装好滤网，然后安装好侧盖。 注意事项及原因 1侧盖在打开、安装时小心操作，防止损坏侧盖及油封造成漏油。 270泵切记安装滤网，100泵喷油管对准观察窗利于查看真空泵的工作状态。 3泵腔内禁止遗留纸屑或其他异物，否则会造成油路的堵塞，导致真空泵卡死。 4清理真空泵的废弃物放入指定垃圾捅。 5出现异常立刻处理，并报告班长或主任。 3注油 1打开真空泵注油口。 2将加油管放入真空泵注油孔。 3开启加油泵开始注油。 4观察真空泵油位至油位观察窗1/2位置。 5关闭注油泵，取下注油管，移到适当位置以防漏油，打开泵侧的油路管道阀门向下腔放油。 6装上尾气管，关闭注油口。 7开启真空泵工作5min后关闭泵侧的油路管道阀门，察看油位是否处于油位观察窗 1/3……1/2位置，若低于下限重复以上操作。 注意事项及原由 1注油管保持清洁，防止异物进入泵腔。 2注油时，注意注油管掉落，且不要超过上限油位以防喷油。 3切记安装好尾气管及注油孔，以防开泵时喷油或油气污染泵房。 4注意清理真空泵及周围卫生。 5出现异常立刻处理，并报告班长或主任。 工序名称适用范围单晶棒的取出 工序名称 适用范围 作业顺序2/30 1作业准备1准备好手套、耐高温手套、纸巾。 2准备好斜口钳、取晶架和小车。 3用湿纸巾将炉体从上到下擦拭一遍。 注意事项及原由1所需物品必须准备齐全而且洁净，就近摆放，以减少不必要的时间浪费。 2取单晶前一定要将炉体彻底擦拭一遍，有利于整体环境，防止交叉污染。 3彻底清扫炉体时注意不要将控制接线及开关碰断或碰坏。 1单晶班冷却完毕后，关闭Ar气，同时升起单晶棒至副室，从副室观察窗确认单晶棒升至所需高度。 2待炉内压力达到极限后关闭主室球阀，然后关闭真空泵电源，立即进行测漏并，做好相应记录。 2单晶取出3若无异常，冲Ar 2单晶取出 4缓慢转动副室至侧面，戴好隔热手套，轻轻按住单晶棒尾端，不使晶棒晃动，同时把安全接盘移到炉筒口处。 5把放有取晶架的小车放在副室炉筒正下方，准备接单晶棒。 6稳定单晶棒，移开安全接盘，按下［晶快降］，将单晶棒降入小车上的取晶架内。 7确认单晶棒完全放入取晶架内后，按住籽晶，用钳子将籽晶从细径处夹断，将籽晶从重锤上取下，放在指定场所，再将重锤升至副室内适当位置。 8将单晶棒放入中转区，待冷却后将炉号、批号、料号写在单晶棒上，转入《石墨件的取出》工序。 注意事项及原由1单晶棒在移动时，必须放入防坠盘。 2泄露率＜0.67pa/min为正常，否则有关人员处理并报告班长或主任。 3升副室前必须确认炉内压力正常，翻板或旋板必须盖住，防止单晶棒坠落4缓慢转动副室，防止单晶棒与副室内壁碰撞，必须将安全接盘移至炉筒口处，防止单晶棒坠落。 5取晶架应与单晶棒垂直对齐，防止单晶棒突然脱落。 6夹断籽晶后，应稳定重锤，防止重锤快速转动，损坏钢丝绳。（重锤温度高，不可用手直接接触）7取籽晶时应慎重作业，防止损坏籽晶。 8单晶棒取出后，必须及时、准确的记录炉号、批号、料号。 工序名称 石墨件的取出 适用范围 适用于每炉石墨件及残骸的取出，及大清炉时整个热场的取出 作业顺序3/30 1取出导流筒及大盖 2取出残骸 1准备好不锈钢小车。 2戴好手套及耐高温手套。 3按顺序取出保温盖及导流筒。 4取出的石墨件放在不锈钢台平车上。 1准备好耐高温手套、钳子、不锈钢筒。 2用钳子夹住石英坩土埚的上端部分提起，使其松动。 3戴好耐高温手套将石英坩土埚取出，若蜗体能将蜗底料全部带出，直接放入不锈钢筒。若不能则将石英坩土埚残骸放到车间指定的区域，剩下的蜗底料随三瓣蜗一并取出。若出现闷炉等意外情况，可将石英坩土埚及原料一起取出，或者戴上耐高温手套用钳子逐一取出，直至彻底取净。 注意事项及原由 1所需物品必须准备齐全，就近摆放，减少不必要的时间浪费。 2