原创力文档- 2
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- 2023-03-05 发布于北京
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本实用新型提供一种磨后清洗机中抽测硅片外观的装置，包括底板，用于支撑整个装置；支撑件，支撑硅片的所述支撑件设置在所述底板上；限位件，限位所述硅片的所述限位件设置在所述支撑件顶部；动力件，用于提供装置运动动力的所述动力件设置在所述底板的底部。本实用新型的有益效果是有效的解决清洗干燥后无法进行人工目检，不能检测硅片表面清洗后的状态，需要时间长，不便于操作的问题。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213212144 U
(45)授权公告日 2021.05.14
(21)申请号 202022275977.8 (51)Int.Cl.
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