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图7.7 (a) (b) 第三十页，共五十一页，2022年，8月28日 压电传感器本身的内阻抗很高，而输出能量较小， 因此它的测量电路通常需要接入一个高输入阻抗的前 置放大器，其作用为： ①把它的高输出阻抗变换为低输出阻抗； ②放大传感器输出的微弱信号。 压电传感器的输出可以是电压信号，也可以是电荷 信号，因此前置放大器也有两种形式：电压放大器和 电荷放大器。 7.4 压电式传感器的测量电路 第三十一页，共五十一页，2022年，8月28日 1.电压放大器 压电传感器接到电压放大器的电路原理图及其等 效电路如图所示。 7.4 压电式传感器的测量电路 第三十二页，共五十一页，2022年，8月28日 图中，电阻R = Ra//Ri，电容C = Cc+Ci，而Ua = q/Ca， 若压电元件受正弦力F = Fmsinwt的作用，则其电压为 7.4 压电式传感器的测量电路 式中 d——压电系数(取决于切割方向及受力情况)； Um——压电元件输出电压幅值，Um = dFm/ Ca。 第三十三页，共五十一页，2022年，8月28日 由此可得放大器输入端电压Ui，其复数形式为 7.4 压电式传感器的测量电路 第三十四页，共五十一页，2022年，8月28日 由上式可知，放大器输入端电压的幅值及与 所测量之作用力的相位差为 7.4 压电式传感器的测量电路 第三十五页，共五十一页，2022年，8月28日 在理想情况下，传感器的泄漏电阻Ra与前置放大 器输入电阻Ri都为无限大，即wR(Ca+C)1，令t = 1/w0 = R(Ca+C) = R(Ca+Cc+Ci)，t为测量电路的时间常 数，则理想情况下输入电压幅值Uim为 7.4 压电式传感器的测量电路 第三十六页，共五十一页，2022年，8月28日 第一页，共五十一页，2022年，8月28日 7.1.1 压电效应 压电效应： 某些电介质，在沿一定方向上受到外力的作用而 变形时，其内部会产生极化现象，同时在它的两个表 面上生成符号相反的电荷，当外力去掉后，它又会恢 复到不带电状态，这种现象称为压电效应。 具有这种压电效应的物体称为压电材料或压电元 件。常见的压电材料有石英，钛酸钡等。 第二页，共五十一页，2022年，8月28日 压电效应是可逆的。 逆压电效应： 在电介质的极化方向上施加电场，这些电介质 也会发生变形，电场去掉后，电介质的变形随之消 失，这种现象称为逆压电效应，或叫做电致伸缩效 应。 7.1 压电式传感器的工作原理 第三页，共五十一页，2022年，8月28日 7.1.1 压电效应 1.石英晶体的压电效应 石英晶体是最常用的压电晶体之一。 其化学成分 为SiO2，是单晶体结构。它理想的几何形状为正六面 体晶柱，如图所示。 Z X Y (a) (b) 石英晶体 Z Y X 第四页，共五十一页，2022年，8月28日 7.1.1 压电效应 经过正六面体（两相对）棱线且垂直于光轴的x轴 称为电轴；与x轴和z轴同时垂直的y轴称为机械轴，如 图所示。 通常把沿电轴方向的力作用下产生电荷的压电效 应称为“纵向压电效应”; 把沿机械轴方向的力作用下产生电荷的压电效应， 称为“横向压电效应”。作用力为剪切力时称为“切向压 电效应”。 第五页，共五十一页，2022年，8月28日 7.1.1 压电效应 石英晶体具有压电效应，是由其内部结构决定的。组成 石英晶体的硅离子Si4+和氧离子O2-在Z平面投影，如图(a)。 为讨论方便，将这些硅、氧离子等效为图(b)中正六边形排 列，图中“＋”代表Si4+，“－”代表2O2-。 (b) (a) + + - - - Y X X Y 硅氧离子的排列示意图 (a) 硅氧离子在Z平面上的投影（b）等效为正六边形排列的投影 + 第六页，共五十一页，2022年，8月28日 当作用力FX=0时，正、负离子（即Si4+和2O2-）正好分布在正六边形顶角上，形成三个互成120o夹角的偶极矩P1、P2、P3，如图（a）所示。此时正负电荷中心重合，电偶极矩的矢量和等于零，即 P1＋P2＋P3＝0 当晶体受到沿X方向的压力（FX0）作用时， 正、负离子相对位置随之发生变化，如图 （b）所示。此时正、负电荷中心不再重合， 电偶极矩在X方向的分量为(P1+P2+P3)X0 在Y、Z方向上的电偶极矩分量为0 Y