《表面与薄膜物理》课程教学大纲(本科).pdfVIP

《表面与薄膜物理》课程教学大纲(本科).pdf

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表面与薄膜物理 一、课程说明 课程名称(中/英文):表面与薄膜物理/physics of thin films 课程类别:专业选修课 学时/学分:40/2.5 先修课程:热力学与统计物理,固体物理,量子物理,原子物理 适用专业: 应用物理 教材、教学参考书: 徐亚伯,《表面物理导轮》,浙江大学出版社(1992) 肖定全, 《薄膜物理与器件》,国防工业出版社 (2011 ) Luth H. Solid surfaces, interfaces and thin films. Springer-Verlag, Berlin (2001). 二、课程设置的目的意义 本课程为应用物理专业选修课程,将大学物理、热力学与统计物理、固体物理、原 子物理、量子力学等课程的内容有机地融合在一起,用来探讨真空知识、薄膜制备、薄 膜和表面表征等新知识,初步探讨表面物理、纳米物理、薄膜物理等领域常用的分析测 试技术的原理和方法,为以后工作和进一步学习其他测试分析方法打下基础。 三、课程的基本要求 1.掌握超高真空的获得及检测 2 .掌握 PVD , CVD ,微机械剥离,离子溅射等镀膜方法;了解离子镀、电化学 镀、化学溶液等镀膜方法。 3 .理解并掌握 UPS ,AFM ,LEED , 了解 XPS ,AES , ARPES ,XRD , HREED ,EELS ,TEM,SEM,STM 等现代表面分析测试手段。 4 .以小组的形式完成一次课堂报告。 四、教学内容、重点难点及教学设计 总 学时 教学方案设计(含 章节 教学内容 学 讲配 实 教学重点 教学难点 教学方法、教学手 时 课 践 段)  真空的获得与表征:讲 真空技术   稀薄气体 性 第 1 章  6 4 解真空泵、真空仪表、真 讲授与讨论 基础 2 质 空配件、真空检测等  真空蒸镀和离子溅射 薄膜的物 等镀膜方法:固体材料气 各种方法的 第 2 章 理制备  6 6   讲授与讨论 化的方法及沉积过程中 原理  方法 的物理过程和现象 薄膜的化 化学气相沉积法及液相 化学气相沉 第 3 章 学制备 4 4 法:化学方法的原理和特 讲授与讨论 积的原理 方法 点,及广泛应用 薄膜的形 原子尺度上薄膜的生长 生长机理、影 第 4 章 6 6 讲授与讨论 成、结构与 过程及结果:薄膜的具体 响生长的因

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