华南农业大学材料化学薄膜与涂层.pptxVIP

华南农业大学材料化学薄膜与涂层;薄膜示例;薄膜示例;SAMFET;Langmuir-Blodgett films;薄膜示例;薄膜示例;2023/3/1;生活中处处都可以发现薄膜;只读式光盘：在聚碳酸脂盘面上复制记录信息，而后在沉积铝质发射膜，最后在表面沉积一层平整的保护膜。(看来并不娇气) 读取信号时，用激光照射盘面，反射光就带有盘面上已记录的信息，这些信息进一步转化为音响和图象。 一次写入式光盘：用较大功率的激光照射记录介质薄膜材料 (如硒、碲等)，使其局部蒸发形成小孔或气泡，或使介质薄膜的光学性能发生变化，从而完成信息记录。读取时用较小功率的激光照射介质薄膜。;生活中还有其他例子吗？;10.2 薄膜的定义; ;涂 层;那么，请教一下材料学泰斗吧！;郁闷！“薄膜”到底是什么东西???;如何意会薄膜这个概念？田民波语录;弄不明白; 薄膜 (? 涂层) 可以定义为：用物理的、化学、或者其他方法，在金属或非金属基体表面形成的一层具有一定厚度、不同于基体材料且具有一定的强化、防护或特殊功能的覆盖层。;这个定义中涉及到了以下一些问题;从厚度角度区分薄膜和涂层;从功能角度区分薄膜和涂层;薄膜由什么材料构成？薄膜的分类;薄膜是怎样形成的？;Why Thin Films?;10.3 薄膜的特性;1.薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。(研究和使用成本) 例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond;2.新的效应 某一维度很小、比表面积大 例：限域效应、表面和界面效应、耦合效应，隧穿效应、极化效应;限域效应;二维体系中的电子态密度;;量子霍尔效应;通过退火控制带隙;Science，306， 1915（2004）;极化效应;photoluminescence spectra of a series of GaN/AlxGa1-xN double heterostructures (DH’s) Phy.Rev B, 57, R9435(1998);表面和界面效应：对电导的影响;耦合效应;3.可以获得常态下不存在的非平衡和非化学计量比结构 Diamond: 工业合成, 2000℃，5.5万大 气压, CVD生长薄膜:常压，800度. MgxZn1-xO: 体相中Mg的平衡固溶度为0.04, PLD法生长的薄膜中，x可0~1.;完全不同的薄膜材料形成异质结;多功能薄膜：太阳能电池 超晶格：GaAlAs/GaAs;Number of Cells;5.薄膜和基片的粘附性 范德瓦耳斯力：;静电力: ;6.薄膜的内应力;7.通常存在大量的缺陷;10.4 薄膜的分类;电学薄膜： （1）半导体器件与集成电路中的导电材料与 介质薄膜材料Al, Cr, Pt, Au, Cu, 多晶硅， 硅化物，SiO2, Si3N4, Al2O3 （2）超导薄膜 YBaCuO, BiSrCaCuO， TlBaCuO等高温超导材料 （3）光电子器件中使用的功能薄膜 GaAs/GaAlAs、HgTe/CdTe、a-Si:H a-SiGe:H, a-SiC:H等晶态和非晶态薄膜;（4）薄膜传感器 可燃性气体传感器SnO2， 氧敏传感器ZrO2, 热敏传感器Pt, Ni, SiC, 离子敏传感器Si3N4,Ta2O5 （5）薄膜电阻、电容、阻容网络与混合集成 电路，低电阻率：Ni-Cr， 高电阻率:Cr-SiO, 薄膜电容：Zn，Al （6）薄膜太阳能电池: 非晶硅、CuInSe2, CdSe;（7）平板显示器件： 液晶显示、等离子体显示、电致发光显 示ITO透明电极，ZnS:Mn发光膜 （8）ZnO、Ta2O3、AlN表面声波元件 （9）磁记录薄膜与薄膜磁头，CoCrTa、 CoCrNi，FeSiAl、巨磁阻材料 （10）静电复印材料Se-Te、SeTeAs、a-Si;光学薄膜： （1）减反射膜：相机、摄像机、投影仪、 望远镜等MgF2，SiO2，ZrO2，Al2O3 红外设备镜头上的ZnS，CeO2，SiO （2）反射膜：太阳能接收器、镀膜反射镜、 激光器用的高反射率膜 （3）分光镜和滤波片：如彩色扩印设备上;（4）镀膜玻璃：建筑、汽车隔热 （5）光存储薄膜：光盘、唱片 Te81Ge15S2Sb2，TbFeCo （6）集成光学元件与光波导中的介质薄膜与半