新型传感器原理及应用.pptxVIP

新型传感器原理及应用第1页/共148页 一．气敏传感器 5.1 气敏、湿敏传感器 气敏传感器是用来检测气体浓度和成分的传感器，它对于环境保护和安全监督方面起着极重要的作用。对气敏传感器有下列要求：能够检测报警气体的允许浓度和其他标准数值的气体浓度，能长期稳定工作，重复性好，响应速度快，共存物质所产生的影响小等。由于被测气体的种类繁多，性质各不相同，不可能用一种传感器来检测所有气体，所以气敏传感器的种类也有很多。近年来随着半导体材料和加工技术的迅速发展，实际使用最多的是半导体气敏传感器，这类传感器一般多用于气体的粗略鉴别和定性分析，具有结构简单、使用方便等优点。第2页/共148页 半导体气敏传感器是利用待测气体与半导体(主要是金属氧化物)表面接触时，产生的电导率等物性变化来检测气体。按照半导体与气体相互作用时产生的变化只限于半导体表面或深入到半导体内部，可分为表面控制型和体控制型。第一类，半导体表面吸附的气体与半导体间发生电子授受，结果使半导体的电导率等物性发生变化，但内部化学组成不变；第二类，半导体与气体的反应，使半导体内部组成(晶格缺陷浓度)发生变化，而使电导率改变。 5.1 气敏、湿敏传感器 SnO2(氧化锡)是目前应用最多的一种气敏元件第3页/共148页 半导体气敏传感器一般由三部分组成：敏感元件、加热器和外壳。按其制造工艺来分，有烧结型、薄膜型和厚膜型三种。(a) 烧结型气敏元器件 (b) 薄膜型气敏元器件 5.1 气敏、湿敏传感器 1. 电阻型半导体气敏传感器的结构第4页/共148页 (c) 厚膜型器件 (d) 厚膜型器件结构它是将氧化物半导体材料与硅凝胶混合制成能印刷的厚膜胶，再把厚膜胶印刷到装有电极的绝缘基片上，经烧结制成。由这种工艺制成的元件机械强度高，其特性也相当一致，适合大批量生产。这些器件全部附有加热器，它的作用是使附着在探测部分处的油雾、尘埃等烧掉，加速气体的吸附，从而提高了器件的灵敏度和响应速度。一般加热到200℃～400℃。 5.1 气敏、湿敏传感器 第5页/共148页 直热式器件的结构和符号如图所示，器件管芯由SnO2、ZnO等基体材料和加热丝、测量丝三部分组成，加热丝和测量丝都直接埋在基体材料内、工作时加热丝通电，测量丝用于测量器件阻值。这类器件制造工艺简单、成本低、功耗小、可以在高电压回路下使用，但热容量小，易受环境气流的影响，测量回路与加热回路之间没有隔离，相互影响。按加热方式不同，可分为直热式和旁热式两种气敏器件。 5.1 气敏、湿敏传感器 第6页/共148页 旁热式气敏器件的结构和符号如图所示。其管芯增加了一个陶瓷管，管内放加热丝，管外涂梳状金电极作测量极，在金电极外涂SnO2等材料。这种结构的器件克服了直热式器件的缺点，其测量极与加热丝分离，加热丝不与气敏材料接触，避免了测量回路与加热回路之间的相互影响，器件热容量大，降低了环境气氛对器件加热温度的影响，所以这类器件的稳定性、可靠性都较直热式器件有所改进。 5.1 气敏、湿敏传感器 第7页/共148页 2. 半导体气敏材料的气敏机理概述当氧化型气体吸附到N型半导体上，还原型气体吸附到P型半导体上时，将使载流子减少，而使电阻增大。相反，当还原型气体吸附到N型半导体上，氧化型气体吸附到P型半导体上时，将使载流子增多，而使电阻下降。空气中的氧成分大体上是恒定的，因而氧的吸附量也是恒定的，气敏器件的阻值大致保持不变。如果被测气体流入这种气氛中，器件表面将产生吸附作用，器件的阻值将随气体浓度而变化，从浓度与电阻值的变化关系即可得知气体的浓度。N型半导体吸附气体时的器件阻值变化 5.1 气敏、湿敏传感器 第8页/共148页 3. SnO2系列气敏器件1) 主要特性实验证明SnO2中的添加物对其气敏效应有明显影响，如添加Pt(铂)或Pd(钯)可以提高其灵敏度和对气体的选择性。添加剂的成分和含量、器件的烧结温度和工作温度不同，都可以产生不同的气敏效应。例如在同一温度下，含1.5%(重量)Pd的元件，对CO最灵敏，而含0.2%(重量)Pd时，对CH4最灵敏；又如同一含量Pt的元件，在200℃以下，对CO最灵敏，而400℃以检测甲烷最佳。SnO2气敏器件的灵敏度特性 5.1 气敏、湿敏传感器 第9页/共148页 SnO2气敏器件易受环境温度和湿度的影响，其电阻一温湿度特性如图所示。图中RH为相对湿度，所以在使用时，通常需要加温湿度补偿。以提高仪器的检测精度和可靠性。 5.1 气敏、湿敏传感器 第10页/共148页 当所测气体浓度变化时，气敏器件的阻值发生变化，从而使输出发生变化。 5.1 气敏、湿敏传感器 SnO2气敏器件检