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本发明提供一种导电互连结构及其制备方法，其优点在于，在导电互连线的间隔区的内壁生长一介质层，依靠所述介质层的自然生长形成凹槽，而并非是在所述介质层填充满所述间隔区后再去除部分介质层而形成所述凹槽，对介质层的影响更小，能够大大降低介质层的损伤，增加导电互连结构的稳定性与可靠性。同时，采用密封层密封所述凹槽，进而在所述导电互连线之间形成一闭合的空气间隙，可进一步增加导电互连结构的稳定性与可靠性。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112309958 B
(45)授权公告日 2023.04.07
(21)申请号 201910700587.X (56)对比文件
(22)申请日 2019.07.31
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