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真空技术的基本知识第1页/共124页 真　空　冶　金　学前 言 真空技术的发展史第一章 真空技术的基本知识第二章 金属真空蒸馏第三章 有色合金中间产品的真空蒸馏分离第四章 矿石及半成品的真空蒸馏第五章 金属化合物的真空还原第六章 高熔点金属的真空精炼第七章 粉末材料的真空制备第八章 金属表面处理第九章 真空技术在冶金中的其他应用 第2页/共124页 真空冶金的应用，是建立在真空技术的进步和广泛使用的基础上的。第3页/共124页 第一章　真空技术的基本知识1. 真空的含义及表征 1.1大气与真空1.2真空度的表征及单位1.3真空区域的划分2. 真空的获得2.1 真空获得设备 旋片泵 定片式真空泵 往复泵 罗茨泵 水环真空泵 分子泵 滑阀式真空泵 油扩散泵 ? 2.2 真空泵的选型 第4页/共124页 第一章　真空技术的基本知识3. 真空测量及其设备3.1 　什么是真空测量 3.2 　真空计 3.3　 全压力测量 　3.4 　分压力测量 3.5　 真空计校准4. 真空系统4.1 什么是真空系统4.2 真空系统的典型形式 4.3 真空阀门4.4 捕集器4.5 真空系统设计 第5页/共124页 第一章　真空技术的基本知识5. 真空系统漏气和检漏5.1　概述（基本概念）5.2　检漏方法5.3　检漏仪器5.4　检漏方法的选择 6. 真空工程材料6.1 材料的真空性能6.2 真空系统对材料的要求6.3 常见的真空材料第6页/共124页 真空的含义及表征1.1 大气与真空 （1）大气的性质 看不到、摸不着，无色，无味 每一升大气大约有1克多重 大气不但有一定的重量，而且它又是由各种不同气体组成的 （2）大气的压力 由分子这种热运动所引起的气体分子之间、气体分子与地球表 面及地球表面上任何物体之间的频繁碰撞的结果——产生大气 压力 （3）真空的科学含义 在给定的空间内低于一个大气压力的气体状态或稀薄的气体状态 。 第7页/共124页 真空的特点:（1）真空状态下的气体压力低于一个大气压； （2）真空状态下气体的分子密度小于大气状态的气体分子密度 ，气体分子的自由程增大； （3） 真空状态下由于分子密度的减小，因此作为组成大气组分的氧、氮等气体含量 ( 也包括水分的含量 ) 也将相对减少。大气压力（托）平均自由路程[厘米]大气压力（托）平均自由路程[厘米]7606.5×10-81×10-55×10 2105×10 –41×10-85×10515×10-31×10-115×1081×10-35×1001×10-165×1013 常温下大气分子平均自由程与大气压力的关系第8页/共124页 常温下低压空间中大气的分子密度压力（托）大气分子密度（个/厘米3）压力（托）大气分子密度（个/厘米3）7602.5×10191×10-73.3×10 92409.7×10181×10-83.3×1081003.3×10 181.8×10-83.3×10 8103.3×10171×10-93.3×10713.3×10 161×10-103.3×10 61×10-13.3×10151×10-113.3×1051×10-23.3×10 141×10-123.3×10 41×10-33.3×10131×10-123.3×1031×10-43.3×10 121×10-143.3×1021×10-53.3×10111×10-153.3×1011×10-63.3×10101×10-163.3×100第9页/共124页 自然真空人为真空 第10页/共124页 真空度（degree of vacuum） ： 表示真空状态下气体的稀薄程度，通常用压力值来表示。 根据真空度定义，真空度最好用分子密度n表示，而以压力表示真空度与此并不矛盾 在一般真空系统中，通常以各向同性的中性气体的压力这一流体静力学的物理量表示真空度，因此，真空度的测量仅仅归结于压力的测量（注意测量条件）。 （有限容器、静止、稳态及各向同性单一的中性气氛） 1.2 真空度的表征及单位第11页/共124页 真空度的其它表示方法自由程与真空度的关系第12页/共124页 真空度的单位 根据气体分子对表面碰撞而定义的气体压力，是碰撞表面单位面积上所受的力，单位为“帕斯卡”(Pascal)，简称“帕”(Pa)。真空度百分数第13页/共124页 真空