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提供一种不易产生纹波的弹性波装置。弹性波装置(1)在包含硅的支承基板(2)上层叠有氧化硅膜(3)、钽酸锂膜(4)、IDT电极(5)以及保护膜(8),关于钽酸锂膜的波长标准化膜厚TLT、欧拉角的θLT、氧化硅膜(3)的波长标准化膜厚TS、换算为铝的厚度的IDT电极(5)的波长标准化膜厚TE、保护膜的波长标准化膜厚TP、支承基板(2)的传播方位ψSi、支承基板(2)的波长标准化膜厚TSi的值,设定TLT、θLT、TS、TE、TP和ψSi,使得Ih大于‑2.4,其中,Ih对应于关于杂散(A、B、C)的
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112673570 A
(43)申请公布日 2021.04.16
(21)申请号 201980058436.7 (72)发明人 中川亮 岩本英树
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