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半导体传感器;第11章 半导体传感器;第11章 半导体传感器;第11章 半导体传感器;第11章??????半导体式传感器;第11章??????半导体式传感器;第11章??????半导体式传感器;第11章??????半导体式传感器;第11章??????半导体式传感器;第11章??????半导体式传感器;第11章??????半导体式传感器;第11章??????半导体式传感器;第11章??????半导体式传感器;第11章 半导体传感器;　　1. 氧化锌元件 　　氧化锌元件是比较常用的一种气敏元件。根据所用的催化剂的不同，可以推测环境空气中大体含有哪些气体。　　;图 11-2 气体浓度与氧化锌元件阻值比之间的关系曲线;　　2. 以三氧化二铁为主的元件 　　三氧化二铁也是N型半导体材料，分两种， α三氧化二铁:检测液化石油气； γ三氧化二铁:检测乙烷、丙烷、丁烷、氢 气以甲 烷为主的天然气，还可以检测乙醇气体。;　　以三氧化二铁为主要材料制做的敏感元件其阻值也是随着气体中被测气体量的提高而减小。以气体浓度为横坐标，以元件阻值为纵坐标，可绘出特性曲线， 如图 。;11.1.3 气敏传感器的应用 　　半导体气敏传感器由于具有灵敏度高、响应时间和恢复时间快、使用寿命长以及成本低等优点，从而得到了广泛的应用。按用途可将其分为气体泄露报警、自动控制、自动测试等几种类型。表11-1 列出了半导体气敏传感器的检测对象及应用场合。;;第11章 半导体传感器;第11章 半导体传感器;第11章 半导体传感器;第11章 半导体传感器;红外吸收 (IR-process);;参考 电极; 白金线;;测量气体管;;第11章 半导体传感器;第11章 半导体传感器;;湿敏传感器种类:1、按输出量可分为电阻型、电容型和频率型等；2、按探测功能可分为绝对湿度型、相对湿度型和结露型等；3、按材料可分为电解质式、陶瓷式、有机高分子式和半导体式等。;第11章 半导体传感器;第11章 半导体传感器; 利用其表面多孔性吸湿进行导电，从而改变元件的阻值就行了。这种湿敏元件的阻值随着外界湿度的变化而变化的特性便是用来制造湿敏传感器的依据。陶瓷湿敏传感器较成熟的产品有 MgCr2O4-TiO2、ZnO-Cr2O3、ZrO2厚膜型、Al2O3??膜型、TiO2-V2O2 薄膜型等。;第11章 半导体传感器;第11章 半导体传感器;　　11.2.3. 有机高分子湿敏传感器 　　有高分子电阻式湿敏传感器、高分子电容式湿敏传感器和结露传感器等。 　　1) 高分子电阻式湿敏传感器 　　高分子电阻式湿敏传感器的工件原理是水可以吸附在有极性基的高分子膜上，在低湿的环境下，因吸附量少，不能产生电离子，所以电阻值较高，当相对湿度增加时，吸附量也增加，大量的吸附水就成为导电通道，高分子电解质的正负离子主要起到载流子的作用，从而使高分子湿敏传感器的电阻值下降。利用这种原理制成的传感器称为高分子电阻式湿敏传感器。;　　2) 高分子电容式湿敏传感器 　　高分子电容式湿敏传感器是在绝缘衬底上制作一对平板金属电极，然后在上面涂敷一层均匀的高分子感湿膜做电介质，在表层以镀膜的方法制作多孔浮置电极形成串联电容。 这种传感器的原理是高分子材料吸水后，元件的介电常数随环境的相对湿度的改变而变化，引起电容的变化，元件的介电常数是水与高分子材料的两种介电常数的总和。当水以水分子形式被吸附在高分子介质膜中时，由于高分子介质的介电常数远小于水的介电常数，因此介质中水的成分对总介电常数的影响比较大，使元件对湿度有较好的敏感性能。;　　3) 结露传感器 　　结露传感器利用了掺入碳粉的有机高分子材料吸湿后的膨胀现象。在高湿条件下，高分子材料的膨胀使其中所含碳粉的间距发生变化，从而产生电阻突变。利用这种现象可制成具有开关特性的湿敏传感器。;第11章 半导体传感器;第11章 半导体传感器;第11章 半导体传感器;;;;... 产生气孔;;;第11章 半导体传感器;;光电二极管的工作原理 对于用半导体硅制造的光电二极管，当受光照射时，若入射光子的能量hυ大于硅的禁带宽度Eg，则光子就激发价带中的电子跃迁到导带，而产生一个电子-空穴对。这种吸收光子的过程称为本征吸收，硅的本征吸收系数随入射光波长变化的曲线如图11-10所示。图中实线和虚线分别表示不同开尔文温度下的响应曲线。由图可见，在红外部分吸收系数小，紫外部分吸收系数大。这就表明，波长短的光子衰减较快，穿透深度较浅，而波长长的光子则能进入硅的较深区域。;;　对于光电器件而言，还常用量子效率来表征光生电子流与入射光子流的比值大小。其物理意义是单位时间内每入射一个光子所引起的流动电子数。根据理论计算可以得到P区在