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晶体管及其制造方法.pdfVIP

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  • 2023-06-17 发布于四川
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晶体管及其制造方法.pdf

    本发明提供一种晶体管，所述晶体管包含栅极、沟道层、栅极绝缘层、钝化层、衬层、第一信号线以及第二信号线。第一信号线嵌入在钝化层中以形成在钝化层中且与沟道层交叠的第一通孔。第二信号线嵌入在钝化层中以在钝化层中形成与沟道层交叠的第二通孔。第二信号线与沟道层接触。衬层包含绝缘区以及与绝缘区连接的导电区。绝缘区安置在钝化层上方和第一通孔的侧壁上。导电区安置在第一通孔的底部下方且与沟道层连接。第一信号线通过导电区与沟道层电连接。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113284952 A (43)申请公布日 2021.08.20 (21)申请号 202110428161.0 H01L 21/34 (2006.01)

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