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数字传感器光栅第1页/共84页 回顾——位移量测量电阻式 电位器 应变式电感式 差动电感式 差动变压器电容式 变极距式 变面积式电涡流式 电涡流测微移 霍尔器件 霍尔位移传感器 量程 几微米? 几百毫米精度 0.1% ?1.0% ？ 大量程 高精度 模拟式传感器第2页/共84页 回顾——位移量测量数字式位移传感器编码器光栅？ 大量程 高精度 脉冲数字式传感器第3页/共84页 6.2 光栅传感器6.2.1 光栅传感器的结构原理6.2.2 莫尔条纹形成的原理及特点6.2.3 光栅的光路6.2.4 辨向原理6.2.5 细分技术6.2.6 应用长度计数控机床桥梁健康检测系统第4页/共84页 6.2 光栅传感器1950年德国Heidenhain首创DIADUR复制工艺，也就是在玻璃基板上蒸发镀铬的光刻复制工艺，这才能制造高精度、价廉的光栅刻度尺，光栅计量仪器才能为用户所接受，进入商品市场。光栅在栅式测量系统中的占有率已超过80%，光栅长度测量系统的分辨力已覆盖微米级、亚微米级和纳米级，测量速度从60m/min，到480m/min。测量长度从1m、3m达到30m和100m。 第5页/共84页 6.2.1 光栅传感器的结构原理按光栅的形状和用途分为：长光栅——线位移 分辨率0.001?0.1μm；测量范围 米