电子特气充装管理与应急处置.pdfVIP

·88 · 有色 冶金节能摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 阴经验交流 試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試 施拴施施施施施施施施拴施施 经验交流 拴施施施施施施施施施 拴 电子特气充装管理与应急处置 1,2 1,2 1,2,3 1,2 1,2,3 马福圈 摇 王摇 磊 摇 刘见华 摇 常摇 欣 摇 万摇 烨 (1.洛阳中硅高科技有限公司,河南洛阳471023; 2.硅基材料制备技术国家工程研究中心,河南洛阳471023; 3. 中国恩菲工程技术有限公司,北京 100038) [摘摇 要]摇 电子特气具有高压、腐蚀性、毒性、易燃易爆、使人窒息等危险特性,充装过程中的安全事故屡见不鲜, 危及人员安全。 本文简要介绍特气充装的一般流程,分析充装前检查、充装过程和充装后气瓶管理的注意事项以 及充装过程的应急措施,旨在提高特气生产企业充装能力和安全管理水平。 [关键词]摇 电子特气;气瓶;充装管理;应急处置 [中图分类号]TQ117摇 摇 摇 [文献标志码]A摇 摇 摇 [文章编号] 1008-5122(2022)04-0088-04 DOI:10.19610/ j.cnki.cn11-4011/ tf.2022.04.019 品的高纯属性无差异地传递。 充装过程大致可分为 0摇 前言 充装前的准备与检查、管线连接、吹扫保压、充装、充 当前,随着芯片与集成电路产业的高速发展,高 装后吹扫保压、气瓶拆除(图1)。 纯度电子特气的需求量日益增加。 高纯电子特气广 摇 摇 为保证充装过程中人员和设备的安全,应严格 泛应用于离子注入、刻蚀、气相沉积、掺杂等半导体 按照安全生产制度和操作规程进行操作,重点做好 产品工艺制程,被称为芯片制造的“血液冶。 电子特 以下工作: 气具有高压、腐蚀性、毒性、易燃易爆、使人窒息等危 1郾1摇 充装前检查 险特性,许多国家、地区、工业组织对其危害性进行 气瓶充装前的安全检查是气瓶充装单位安全管 了详细的等级划分。 对于电子特气生产和使用企业 理的重点,也是气瓶充装和使用安全的基本保障。 来说,任何生产运行中存在的安全隐患都可能会对 充装前待检查的气瓶一般分为三种:1)新采购未使 企业、人员和生态环境带来不可挽回的严重后果。 用过的新气瓶;2)从下游客户处返回的已使用过的 因此做好电子特气生产过程中的安全管控意义 气瓶;3)经过检修维护(如更换瓶阀),检测合格后 重大。 重新投入使用的气瓶。 根据《液化气体气瓶充装规 1摇 电子特气充装 定》(GB 14193—2009),气瓶充装前的检查应安排 专人负责,逐个进行。 如果严格按照标准中列出的 电子特气的应用大都以气瓶为载体,需要利用 11项内容去逐一检查,多数气瓶隐患就能发现,从 充装系统对其进行罐装。 特气充装就是将特气产品 而防止问题气瓶流入下一工序,避免发生气瓶混装、 装入满足客户现场需求的包装物当中,保证特气产 错装、误用报废或者超期气瓶等情况导致的充装 事故。 摇 摇 [收稿日期]2022-01-23 为保证电子特气的高纯