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用于小像元微测辐射热计的天线耦合微桥结构及制备方法.pdfVIP

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  • 2023-07-29 发布于四川
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用于小像元微测辐射热计的天线耦合微桥结构及制备方法.pdf

    本发明公开了一种用于小像元微测辐射热计的天线耦合微桥结构及制备方法，属于光电探测技术领域。本发明将螺旋天线与电极桥腿相间排布，提高了小像元微桥结构热隔离支撑桥腿的占比，使桥腿延长热导率降低，提升了微测辐射热计的温升；采用螺旋式天线臂耦合热敏单元接收红外辐射时，光能量的吸收能够更集中于热敏单元，在器件总光吸收率相近的情况下，进一步提高了热敏单元的温升，等效于增加了微桥结构的有效吸收面积，与传统微测辐射热计相比能更好地收集能量，提高探测效率；在获得低热导和高吸收率的同时，降低了微桥结构的热质量；代替

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116499593 A (43)申请公布日 2023.07.28 (21)申请号 202310057759.2 (22)申请日 2023.01.18 (71)申请人 华中科技大学

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