第九章透射电子显微镜演示文稿.pptVIP

（一）物镜 提高物镜分辨率的措施： 物镜的分辨率主要取决于极靴的形状和加工精度。一般来说，极靴的内孔和上下极之间的距离越小，物镜的分辨率越高。 在物镜的后焦面上安放一个物镜光阑。物镜光阑不仅具有减少球差，像散和色差的作用，而且可以提高图像的衬度。 当前第30页\共有53页\编于星期三\9点 光学透镜的焦距是固定的。电磁透镜的焦距是可以通过调节电流大小来改变。 在用透射电子显微镜进行图像分析时，物镜和样品之间和距离固定不变的，（即物距L1不变）。因此改变物理学电镜放大倍数进行成像时，主要是改变物镜的焦距和像距（即f 和 L2）来满足成像条件。 当前第31页\共有53页\编于星期三\9点 （二）中间镜 作用：在电镜操作过程中，主要是利用中间镜的可变倍率来控制电镜的放大倍数。 特点：弱激磁，长焦距，可变倍透镜，放大倍数0-20倍。 当前第32页\共有53页\编于星期三\9点 （三）投影镜 投影镜的作用是把经中间镜放大（或缩小）的像（电子衍射花样）进一步放大，并投影到荧光屏上 它和物镜一样，是一个短焦距的强磁透镜。投影镜的激磁电流是固定的。 当前第33页\共有53页\编于星期三\9点 成像电子束进入投影镜时孔径角很小（约10-5rad）,因此它的景深和焦长都非常大。即使显微镜的总放大倍数有很大的变化，也不会影响图像的清晰度。 如果中间镜的像平面出现一定的位移，这个位移距离仍处于投影镜的景深范围之内，因此，在荧光屏上的图像仍旧是清晰的。 当前第34页\共有53页\编于星期三\9点 § 9-1 透射电子显微镜的结构和成像机理 （四）成像与衍射操作：背焦面 背焦面：样品的电子衍射斑点。 当前第35页\共有53页\编于星期三\9点 § 9-1 透射电子显微镜的结构和成像机理 （四）成像与衍射操作：像平面 像平面：样品的放大像。 像平面 像平面 当前第36页\共有53页\编于星期三\9点 如果把中间镜的物平面和物镜的像平面重合，则在荧光屏上得到一幅放大像，这就是电子显微镜中的成像操作，如右图（a）所示。 如果把中间镜的物平面和物镜的背焦面重合，则在荧光屏上得到一幅电子衍射花样，这就是电子显微镜中的电子衍射操作，如右图（b）所示。 成像操作与衍射操作 当前第37页\共有53页\编于星期三\9点 成像操作与衍射操作的区别： 1、如果物镜的光阑是关闭的，则中间镜的物平面与物镜的像平面重合，即为成像操作。 2、如果物镜的光阑是开启的，则中间镜的物平面与物镜的背焦面重合，即为衍射操作。 当前第38页\共有53页\编于星期三\9点 第九章透射电子显微镜演示文稿 * 当前第1页\共有53页\编于星期三\9点 * 优选第九章透射电子显微镜 当前第2页\共有53页\编于星期三\9点 § 9-1 透射电子显微镜的结构和成像机理 透射电子显微镜 Transmission Electron Microscope, TEM 是以波长极短的电子束作为照明源、用电磁透镜聚焦成像的一种高分辨本领、高放大倍数的电子光学仪器，是观察分析材料的形貌、组织和结构的有效工具。 当前第3页\共有53页\编于星期三\9点 分析透射电子显微镜 JEM200CX 当前第4页\共有53页\编于星期三\9点 分析透射电子显微镜JEM2010 当前第5页\共有53页\编于星期三\9点 分析型透射电子显微镜 当前第6页\共有53页\编于星期三\9点 超高压电镜 当前第7页\共有53页\编于星期三\9点 TEM发展简史 1924年de Broglie提出波粒二象性假说 1926 Busch指出“具有轴对称性的磁场对电子束起着透镜的作用，有可能使电子束聚焦成像”。 1927 Davisson Germer, Thompson and Reid 进行了电子衍射实验。 1933年柏林大学的Knoll和Ruska研制出第一台电镜（点分辨率50nm, 比光学显微镜高4倍)，Ruska 为此获得了Nobel Prize（1986）。 1949年Heidenreich观察了用电解减薄的铝试样； 当前第8页\共有53页\编于星期三\9点 近代TEM发展史上三个重要阶段 像衍理论(50－60年代)： 英国牛津大学材料系 ；英国剑桥大学物理系 A.Howie （建立了直接观察薄晶体缺陷和结构的实验技术及电子衍射衬度理论） 高分辨像理论（70年代初）： 美国阿利桑那州立大学物理系，70年代发展了高分辨电子显微像的理论与技术。 高空间分辨分析电子显微学（ 70年代末，80年代初）采用高分辨分析电子显微镜（HREM，NED，EELS, EDS）对很小范围（～5?）的区域进行电子显微研究（像，晶体结构，电子结构，化学成分）? 当前第9页\共有53页\编于星期三\9点